Свойства эпитаксиальных пленок карбида кремния, выращенных химическим осаждением из газовой фазы в системе метилтрихлорсилан--водород
Иванов П.А.1, Зеленин В.В.1, Данишевский А.М.1, Старобинец С.Г.1, Челноков В.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 28 ноября 1994 г.
Выставление онлайн: 20 января 1995 г.
- Аникин М.М., Гусева Н.Б., Дмитриев В.А., Сыркин А.Л. Изв. АН СССР. Сер. Неорганич. матер. 1984. Т. 20. С. 1768
- Бритун В.Ф., Дмитриев В.А., Емельянова И.В., Иванова Н.Г., Попов И.В., Чернов М.А., Циунелис В.Г. ЖТФ. 1986. Т. 56. С. 214
- Davis R.F., Kelner G., Shur M., Palmour J.W., Edmond J.A. Proc. of the IEEE. 1991. V. 79. P. 677
- Nishino S., Saraie J. Springer Proc. in Phys. / Ed. by G.L. Harris, M.G. Spencer and C.Y. Yang. 1989. V. 34. P. 45
- Saidov M.S., Shamuratov Kh.A., Kadyrov M.A. J. Cryst. Growth. 1988. V. 87. P. 519
- Nakashima S., Katahama H., Nakakura Y., Mitsuishi A. Phys. Rev. 1986. B33. P. 5721
- Nakashima S., Tahara K. Phys. Rev. 1989. B40. P. 6339
- Feldman D.W., Parker J.H., Jr., Choyke W.J., Patrick L. Phys. Rev. 1968. V. 170. P. 698
- Иванов П.А., Константинов А.О., Пантелеев В.Н., Самсонова Т.П., Челноков В.Е. ФТП. 1994. Т. 28. С. 1172
- Водаков Ю.А., Ломакина Г.А., Мохов Е.Н. ФТТ. 1982. Т. 24. С. 1327
- Лаухе Ю., Тиров Ю.М., Цветков В.Ф., Щепански Ф. Изв. АН СССР. Сер. Неорганич. матер. 1981. Т. 17. С. 254
- Larkin D.J., Neudeck P.G., Powell J.A., Matus L.G. In: Silicon Carbide and Related Materials / Ed. by M.G. Spencer, R.P. Devaty, J.A.Edmond, M. Asif Khan, R. Kaplan, M. Rahman Unst. Phys. Conf. Ser. N 137; Inst. Phys. Publishing. Bristol and Philadelphia, 1993. P. 51
- Neudeck P.G., Petit J.B., Salupo C.S. Proc. of the 2nd HiTEC (Albuquerque, NM).1994. P. X-23
- Konstantinov A.O., Ivanov P.A. In: Silicon Carbide and Related Materials / Ed. by M.G. Spencer, R.P. Devaty, J.A. Edmond, M. Asif Khan, R. Kaplan, and M. Rahman; Inst. Phys. Conf. Sr. N 137; Inst. Phys. Publishing. Bristol and Philadelphia, 1993. P. 37
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.