Эффект фотостимулированной диффузии примеси в объеме кремния
Итальянцев А.Г.1, Лойко Н.Н.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 22 марта 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1994 г.
- Bourgoin J.C., Corbett J.W., Frish H.L. J. Chem. Phys. 1973. V. 59. N 8. P. 4042
- Lang O.V., Kimerling L.C. Phys. Rev. Lett. 1974. V. 33. N 8. P. 489
- Kimerling L.C. Solid State Electronics. 1978. V. 21. N 11--12. P. 1391
- Герасимов А.Б., Гоголадзе И.А., Церцвадзе А.А. Письма в ЖТФ. 1982. Т. 8. В. 17. С. 1032
- Винецкий В.Л., Холодарь Г.А. ФТП. 1982. Т. 16. В. 7. С. 1322
- Шейкман М.К. Письма в ЖТФ. 1983. Т. 9. В. 6. С. 278
- Гвердцители И.Г., Герасимов А.Б., Джибути Э.В. и др. Поверхность. 1985. В. 11. С. 132
- Dunham S.T., Plummer J.D. J. Appl. Phys. 1986. V. 59. N 7. P. 2551
- Итальянцев А.Г. Поверхность. 1991. В. 10. С. 122
- Лойко Н.Н., Максимовский С.Н., Шотов А.П. и др., А.С. N 1501838. 1989. Б.И. 1989. N 30. С. 284
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.