Послойный анализ тонкопленочных образцов методом масс-спектрометрии вторичных ионов с дополнительной регистрацией тока образца
Толстогузов А.Б.1, Китаева Т.И.1
1Научно-исследовательский технологический институт Рязань
Поступила в редакцию: 11 апреля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.
- Черепин В.Т. Ионный микрозондовый анализ. Киев, 1992. 344 с
- Anderle M., Moro L. Surf. \& Interf. Anal. 1990. V. 15. P. 535--530
- Moro L., Canteri R., Anderle M. Surf. \& Interf. Anal. 1992. V. 18. P. 765--772
- Волков С.С., Денисов А.Г., Кратенко В.И. и др. Электронная промышленность. 1990. В. 10. С. 13--16
- Кратенко В.И., Сергеев Н.Н., Дуплин Н.И. и др. Электронная промышленность. 1990. В. 10. С. 53--57
- Волков С.С., Китаева Т.И., Толстогузов А.Б. Поверхность. 1993. В. 11. С. 64--70
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук