"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности роста эпитаксиальных слоев карбида кремния из газовой фазы, создаваемой магнетронным реактивным распылением
Рогачев Н.А.1, Кузнецов А.Н.1, Теруков Е.И.1, Лебедев А.А.1, Челноков В.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1994 г.

  • Nishino S., and Saraie J. Springer Proc. Phys. V. 34. Springer, Berlin, 1989, p. 186
  • Sugii T., Aoyama T., Ito T. J. Electrochem. Soc. 1990. V. 3. P. 989
  • Motoyama S., Morikawa N., Nasu M., Konedan S. J. Appl. Phys. 1990. V. 68. P. 101
  • Yoshinobu T., Mitsui H., Tarui Y., Fuyuki T., Matsunami H. J. Appl. Phys. 1992. V. 72. P. 2006
  • Wahab Q., Hultman L., Sundgren J.-E., Willander M. J. Mater. Sci. Eng. 1992. B. 11. P. 61
  • Аникин М.М., Андреев А.Н., Лебедев А.А., Пятко С.Н., Расстегаева М.Г., Савкина Н.С., Стрельчук А.М., Сыркин А.Л., Челноков В.Е. ФТП. 1991. Т. 25. С. 328
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.