Об аномально глубоких структурных изменениях в имплантированных полупроводниках
Гацкевич Е.И., Малевич В.Л.
Поступила в редакцию: 14 июля 1993 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1993 г.
- Pavlov P.V., Tetelbaum D.I., Skupov V.D., Senin Yu.A., Zorina G.V. Phys. St. Sol. (a). 1986. V. 94. N 1. P. 395--402
- Калинушкин В.П., Куземченко Т.А., Маненков А.А. и др. Тез. докл. I Всес. конф. "Физические и физико-химические основы микроэлектроники". Вильнюс, М., 1987. С. 70--71
- Павлов П.В., Демидов Е.С., Зорина Г.В. ФТП. 1987. Т. 21. В. 6. С. 984--988
- Калинушкин В.Д., Маненков А.А., Михайлова Г.Н., Плопна М.Г., Прохоров А.М., Сеферов А.С., Чехонадский Ю.Н., Хайбуллин И.Б. Микроэлектроника. 1986. Т. 15. В. 6. С. 528--531
- Пенина М.А., Назарова Л.Б., Мелев В.Г. Поверхность: физика, химия, механика. 1988. N 8. С. 142--144
- Кладько В.П., Крыштаб Т.Г., Свительский А.В., Семенова Г.Н. ФТП. 1992. Т. 26. В. 11. С. 1932--1937
- Павлов П.В., Скупов В.Д., Тетельбаум Д.И. ФиХОМ. 1987. N 6. С. 19--24
- Вавилов В.С., Кив А.П., Ниязова О.Р. Механизмы образования и миграции дефектов в полупроводниках. М.: Наука. 1981. 368 с
- Алещенко Ю.А., Водопьянов Л.К. ФТП. 1991. Т. 25. В. 7. С. 1259--1262
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук