Послойный молекулярный анализ фуллерен-содержащих структур методом время-пролетной вторично-ионной масс-спектрометрии
Дроздов М.Н.1, Дроздов Ю.Н.1, Пахомов Г.Л.1, Травкин В.В.1, Юнин П.А.1, Разумов В.Ф.1
1Институт физики микроструктур РАН, Н. Новгород Институт проблем химической физики РАН, Черноголовка
Email: drm@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 16 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2013 г.
Исследуется новый вариант послойного анализа тонкопленочных фуллерен-содержащих органических структур методом время-пролетной вторично-ионной масс-спектрометрии на установке TOF.SIMS-5. Обнаружена и исследована зависимость интенсивности выхода молекулярных ионов C60 от энергии распыляющих ионов Cs. Показано, что при энергии ниже 1 keV наблюдается высокая интенсивность линии молекулярных ионов C60, позволяющая проводить не только элементный, но и молекулярный послойный анализ состава многокомпонентных (многослойных) тонкопленочных структур. Демонстрируются перспективы использования послойного молекулярного анализа для получения новой, более детальной информации о реальном молекулярном составе в функциональных органических устройствах.
- Fletcher J.S., Lockyer N.P., Vickerman J.C. // Mass Spectrometry Reviews. 2011. V. 30. P. 142
- Rading D., Moellers R., Kollmer F., Paul W., Niehuis E. // Surf. Interface Anal. 2011. V. 43. P. 198
- Vinograd N. // Surf. Interface Anal. 2013. V. 45. P. 3
- Iltgen K., Bendel C., Benninghoven A., Niehuis E. // J. Vac. Sci. Technol. 1997. V. A 15. P. 460
- Van Vaeck L., Adriaens A., Gijbels R. // Mass Spectrometry Reviews. 1999. V. 18. P. 1
- Cramer H.-G., Grehl T., Kollmer F., Moellers R., Niehuis E., Rading D. // Applied Surface Science. 2008. V. 255. P. 966
- Houssiau L., Douhard B., Mine N. // Applied Surface Science. 2008. V. 255. P. 970
- Ngo K.Q., Philipp P., Jin Y., Morris S.E., Shtein M., Kieffer J., Wirts T. // Surf. Interface Anal. 2011. V. 43. P. 194
- Py M., Barnes J.P., Charbonneau M., Tiron R., Buckley J. // Surf. Interface Anal. 2011. V. 43. P. 179
- Rading D., Moellers R., Cramer H.-G., Niehuis E. // Surf. Interface Anal. 2013. V. 45. P. 171
- Conard T., Franquet A., Tsvetanova D., Mouhib T., Vandervorst W. // Surf. Inerface Anal. 2013. V. 45. P. 406
- Mouhib T., Poleunis C., Mollers R., Niehuis E., Defrance P., Bertrand P., Delcorte A. // Surf. Interface Anal. 2013. V. 45. P. 163
- Kotze H.L., Armitage E.G., Fletcher J.S., Henderson A., Williams K.J., Lockyer N.P., Vickerman J.C. // Surf. Interface Anal. 2013. V. 45. P. 277.
- Трошин П.А., Любовская Р.Н., Разумов В.Ф. // Российские нанотехнологии. 2008. Т. 3. N 5--6. С. 56--77
- Zeeshan S., Javeed S., Ahmad S. // International Journal of Mass Spectrometry. 2012. V. 311. P. 1
- Li Di, Chen Y., Wang G., Shrivastav G., Oak S., Tasch A., Banerjee S. // User's manual. University of Texas at Austin. Mar. 20, 2000
- Cluster secondary ion mass spectrometry / Ed. by Christine M. Mahoney. John Wiley \& Sons, 2013.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук