Равноскоростное магнетронное распыление мозаичных медно-графитовых мишеней
Манкелевич Ю.А.1, Митин А.В.1, Митин В.С.1, Паль А.Ф.1, Рахимова Т.В.1, Рябинкин А.Н.1, Серов А.О.1, Лучкин С.Ю.1
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова Всероссийский научно-исследовательский институт неорганических материалов им. А.А. Бочвара, Москва
Email: aserov@mics.msu.su
Поступила в редакцию: 6 апреля 2012 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2012 г.
На основании экспериментальных данных по распылению медно-графитовых катодов предложен механизм равноскоростного распыления элементов мозаичных мишеней, изготовленных из материалов с коэффициентами распыления, отличающимися почти на порядок. Механизм учитывает возникновение перепада высот между элементами мозаики на начальном этапе распыления, перераспределение ионных потоков между элементами, а также эффекты, связанные с массопереносом в плазме и внедрением распыленных атомов в элементы мозаики другого сорта.
- Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. // УФН. 2009. Т. 179. В. 1. С. 35--64
- Ширяев С.А., Митин В.С., Митин А.В. и др. // ЖТФ. 2002. Т. 72. В. 2. С. 99--104
- Onoprienko A.A., Vanchuk I.B., Kossko I.A. // Surface \& Coatings Technology. 2010. V. 204. P. 4091--4994
- Dolique V., Thomann A.-L., Brault P. et al. // Materials Chemistry and Physics. 2009. V. 117. P. 142--147
- Vidyarthi V.S., Suchanek G., Gerlach G. et al. // Thin Solid Films. 2010. V. 518. P. 4106--4112
- Abhilash V., Sumesh M.A., Mohan S. // Smart Mater. Struct. 2005. V. 14. P. S323--S328
- Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1992. 536 с
- Benilov M.S. // Plasma Sources Sci. Technol. 2009. V. 18. P. 014005
- Geha S.G., Varlile R.N., O'Hanlon J.F., Selwyn G.S. // J. Appl. Phys. 1992. V. 72. P. 374
- Behrisch R., Eckstein W. (Ed.) // Sputtering by particle mobardment. Berlin--Heidelberg--New York: Springer-Verlag, 2007
- Posadowski W.M. // Thin Solid Films. 2001. V. 392. P. 201--207
- Freund R.S., Wetzel R.C., Shul R.J., Hayes T.R. // Phys. Rev. A. 1990. V. 41. P. 3575
- Stepanova M., Dew S.K. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2001. V. 19. P. 2805--2816
- http: // www.SRIM.org
- Wittmaack K. // J. Appl. Phys. 2004. V. 96. P. 2632
- Choi W., Kim C., Kang H. // Surface Science. 1993. V. 281. Is. 3. P. 323--335
- Berg S., Katardjiev I.V. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1999. V. 17. P. 1916
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук