Вышедшие номера
Равноскоростное магнетронное распыление мозаичных медно-графитовых мишеней
Манкелевич Ю.А.1, Митин А.В.1, Митин В.С.1, Паль А.Ф.1, Рахимова Т.В.1, Рябинкин А.Н.1, Серов А.О.1, Лучкин С.Ю.1
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова Всероссийский научно-исследовательский институт неорганических материалов им. А.А. Бочвара, Москва
Email: aserov@mics.msu.su
Поступила в редакцию: 6 апреля 2012 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2012 г.

На основании экспериментальных данных по распылению медно-графитовых катодов предложен механизм равноскоростного распыления элементов мозаичных мишеней, изготовленных из материалов с коэффициентами распыления, отличающимися почти на порядок. Механизм учитывает возникновение перепада высот между элементами мозаики на начальном этапе распыления, перераспределение ионных потоков между элементами, а также эффекты, связанные с массопереносом в плазме и внедрением распыленных атомов в элементы мозаики другого сорта.