На основании экспериментальных данных по распылению медно-графитовых катодов предложен механизм равноскоростного распыления элементов мозаичных мишеней, изготовленных из материалов с коэффициентами распыления, отличающимися почти на порядок. Механизм учитывает возникновение перепада высот между элементами мозаики на начальном этапе распыления, перераспределение ионных потоков между элементами, а также эффекты, связанные с массопереносом в плазме и внедрением распыленных атомов в элементы мозаики другого сорта.
Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. // УФН. 2009. Т. 179. В. 1. С. 35--64
Ширяев С.А., Митин В.С., Митин А.В. и др. // ЖТФ. 2002. Т. 72. В. 2. С. 99--104
Onoprienko A.A., Vanchuk I.B., Kossko I.A. // Surface \& Coatings Technology. 2010. V. 204. P. 4091--4994
Dolique V., Thomann A.-L., Brault P. et al. // Materials Chemistry and Physics. 2009. V. 117. P. 142--147
Vidyarthi V.S., Suchanek G., Gerlach G. et al. // Thin Solid Films. 2010. V. 518. P. 4106--4112
Abhilash V., Sumesh M.A., Mohan S. // Smart Mater. Struct. 2005. V. 14. P. S323--S328
Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1992. 536 с
Benilov M.S. // Plasma Sources Sci. Technol. 2009. V. 18. P. 014005
Geha S.G., Varlile R.N., O'Hanlon J.F., Selwyn G.S. // J. Appl. Phys. 1992. V. 72. P. 374
Behrisch R., Eckstein W. (Ed.) // Sputtering by particle mobardment. Berlin--Heidelberg--New York: Springer-Verlag, 2007
Posadowski W.M. // Thin Solid Films. 2001. V. 392. P. 201--207
Freund R.S., Wetzel R.C., Shul R.J., Hayes T.R. // Phys. Rev. A. 1990. V. 41. P. 3575
Stepanova M., Dew S.K. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2001. V. 19. P. 2805--2816
http: // www.SRIM.org
Wittmaack K. // J. Appl. Phys. 2004. V. 96. P. 2632
Choi W., Kim C., Kang H. // Surface Science. 1993. V. 281. Is. 3. P. 323--335
Berg S., Katardjiev I.V. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1999. V. 17. P. 1916
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2019 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук