"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Динамика ионизации в лазерной плазме на газовой мишени при низких давлениях
Демидов Р.А.1, Калмыков С.Г.1, Можаров А.М.1, Петренко М.В.1, Сасин М.Э.1
1Санкт-Петербургский государственный политехнический университет Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург
Email: Serguei.Kalmykov@mail.ioffe.ru
Выставление онлайн: 20 октября 2012 г.

В источниках коротковолнового излучения на Xe лазерной плазме коэффициент конверсии энергии лазера в излучение EUV диапазона (CE) оказывается существенно ниже теоретических ожиданий. Сделанные оценки показывают, что одной из основных причин этого может быть длительный период начальной ионизации до момента появления высокозарядных ионов, способных испускать коротковолновые фотоны. Плазма при этом остается низкоионизованной и слабо поглощает лазерное излучение. Также выполнены измерения поглощения света лазера, которые позволяют получить сведения, подтверждающие упомянутые оценки. В качестве метода ускорения процесса ионизации и, соответственно, повышения CE предлагается предыонизация газовой мишени импульсом ультрафиолетового (UV) эксимерного лазера.
  1. Bakshi V. EUV Sources for Lithography, SPIE Press, Bellingham, WA, USA, 2006
  2. Калмыков С.Г. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. В. 21. С. 97
  3. Schriever G. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B 17 (1999). N 5. p. 2058
  4. Diefendorff K. Extreme Lithography (6/19/2000). <http:www.mpronline.com>
  5. Домрачева И.В. и др. // Письма в ЖТФ. 2007. Т. 33. В. 22. С. 9
  6. Райзер Ю.П. Лазерная искра и распространение разрядов. М.: Наука, 1974
  7. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. 3-е изд. Долгопрудный, Моск. обл.: ИД Интеллект, 2009
  8. Калмыков С.Г. и др. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. В. 4. С. 23
  9. Калмыков С.Г. и др. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. В. 6. С. 63
  10. Калмыков С.Г. и др. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 34. В. 17. С. 65

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.