Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование морфологии пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью
1Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия 
2ОАО "Ангстрем", Зеленоград
2ОАО "Ангстрем", Зеленоград
Email: novak--andrei@mail.ru
Поступила в редакцию: 26 марта 2012 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2012 г.
Посредством атомно-силовой микроскопии (АСМ) изучена зависимость морфологии пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью, полученных методом химического парофазного осаждения при низком давлении (LPCVD), от температуры осаждения. Для температурного интервала, в котором происходит образование пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью, получены зависимости относительного приращения площади поверхности, плотности, среднего размера и средней высоты зерен, среднеквадратической шероховатости и корреляционной длины от температуры осаждения.
- Ino M., Miyano J., Kurogi H., Tamura H., Nagatomo Y., Yoshimaru M. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1996. V. 14. N 2. P. 751--756
- Banerjee A., Crenshaw D.L., Wise R. et al. // J. Electrochemical Society. 1999. V. 146. N 6. P. 2289--2293
- Watanabe H., Aoto N., Adachi S. et al. // Appl. Phys. Lett. 1991. V. 58. N 3. P. 251--253
- Watanabe H., Aoto N., Adachi S. et al. // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. N 7. P. 3538--3543
- Gerritsen E., Emonet N., Caillat C. et al. // Solid State Electronics. 2005. V. 49. P. 1767--1775
- U.S. Patent N. 6, 831, 315 B2 (Dec. 14, 2004)
- Suzkuki K. // Sensors and Actuators A: Physical. 2000. V. 79. N 2. P. 141--146
- Kuo H.P., Lam S., Sheng X. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2006. V. 24. N 2. P. 1030--1034
- Akazawa H. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 82. N 9. P. 1464--1466
- Sun E., Su F.H., Chen C.H., Chen M.J. // Appl. Surf. Sci. 2010. V. 256. N 16. P. 5021--5024
- Strauer Y.E., Scorth M., Sweeney J.J. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1997. V. 15. N 3. P. 1007--1013
- Edrei R., Shauly E.N. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2000. V. 18. N 18. P. 41--47
- Blunt L., Jiang X. // Advanced techniques for assessmment surface topography: development of a basis for 3D surface texture standards "surfstand". London: Kogan Page Science, 2003
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
