"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Исследование морфологии пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью
Новак А.В.1,2, Никольский Ю.В.1,2, Фокичев С.Н.1,2
1Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
2ОАО "Ангстрем", Зеленоград
Email: novak--andrei@mail.ru
Поступила в редакцию: 26 марта 2012 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2012 г.

Посредством атомно-силовой микроскопии (АСМ) изучена зависимость морфологии пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью, полученных методом химического парофазного осаждения при низком давлении (LPCVD), от температуры осаждения. Для температурного интервала, в котором происходит образование пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью, получены зависимости относительного приращения площади поверхности, плотности, среднего размера и средней высоты зерен, среднеквадратической шероховатости и корреляционной длины от температуры осаждения.
  1. Ino M., Miyano J., Kurogi H., Tamura H., Nagatomo Y., Yoshimaru M. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1996. V. 14. N 2. P. 751--756
  2. Banerjee A., Crenshaw D.L., Wise R. et al. // J. Electrochemical Society. 1999. V. 146. N 6. P. 2289--2293
  3. Watanabe H., Aoto N., Adachi S. et al. // Appl. Phys. Lett. 1991. V. 58. N 3. P. 251--253
  4. Watanabe H., Aoto N., Adachi S. et al. // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. N 7. P. 3538--3543
  5. Gerritsen E., Emonet N., Caillat C. et al. // Solid State Electronics. 2005. V. 49. P. 1767--1775
  6. U.S. Patent N. 6, 831, 315 B2 (Dec. 14, 2004)
  7. Suzkuki K. // Sensors and Actuators A: Physical. 2000. V. 79. N 2. P. 141--146
  8. Kuo H.P., Lam S., Sheng X. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2006. V. 24. N 2. P. 1030--1034
  9. Akazawa H. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 82. N 9. P. 1464--1466
  10. Sun E., Su F.H., Chen C.H., Chen M.J. // Appl. Surf. Sci. 2010. V. 256. N 16. P. 5021--5024
  11. Strauer Y.E., Scorth M., Sweeney J.J. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1997. V. 15. N 3. P. 1007--1013
  12. Edrei R., Shauly E.N. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2000. V. 18. N 18. P. 41--47
  13. Blunt L., Jiang X. // Advanced techniques for assessmment surface topography: development of a basis for 3D surface texture standards "surfstand". London: Kogan Page Science, 2003

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.