Об особенностях ионно-инициированных процессов при импульсном лазерном осаждении покрытий MoSe2 в импульсных электрических полях
Фоминский В.Ю.1,2,3, Григорьев С.Н.1,2,3, Гнедовец А.Г.1,2,3, Романов Р.И.1,2,3
1Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
2Московский государственный технологический университет "СТАНКИН", Москва, Россия
3Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова Российской академии наук, Москва, Россия
Email: vyfominskij@mephi.ru
Поступила в редакцию: 12 марта 2012 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2012 г.
По результатам экспериментов и математического моделирования определены энергетические характеристики ионного пучка при импульсном лазерном осаждении слоев MoSe2 в условиях подключения высоковольтных импульсов положительной полярности к лазерной мишени. Показана возможность нанесения покрытий MoSe2, ассистированного имплантацией ионов с энергией до 100 keV, на 57Fe-содержащую подложку. Анализ глубинного распределения атомов Mo, Se и 57Fe и фазового состава поверхностного слоя указывал на доминирование массопереноса в термических пиках и существенное влияние "ударного" воздействия ионов на структуру этого слоя на наноуровне, проявившееся в образовании нанокомпозитного слоя с включениями специфической гексагональной фазы FeSe. Полученные результаты демонстрируют принципиально новые возможности усовершенствованной лазерной методики для регулирования процессов получения твердосмазочных покрытий с улучшенными свойствами.
- Wahl K.J., Dunn D.N., Singer I.L. // Wear. 2000. V. 237. P. 1--11
- Shtansky D.V., Lobova T.A., Fominski V.Yu., Kulinich S.A., Lyasotsky I.V., Petrzhik M.I., Levashov-E.A., Moore J.J. // Surf. Coat. Technol. 2004. V. 183. Is. 2--3. P. 328--336
- Muratore C., Voevodin A.A. // Thin Solid Films. 2009. V. 517. P. 5605--5610
- Фоминский В.Ю., Романов Р.И., Гнедовец А.Г., Неволин В.Н. // ЖТФ. 2010. Т. 80. В. 10. С. 120--128
- Фоминский В.Ю., Григорьев С.Н., Романов Р.И., Неволин В.Н. // ЖТФ. 2012. Т. 82. В. 4. С. 96--104
- Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Гнедовец А.Г., Романов Р.И. // ЖТФ. 2009. Т. 79. В. 1. С. 118--124
- Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Гнедовец А.Г., Романов Р.И. // ЖТФ. 2009. Т. 79. В. 11. С. 120--127
- Fominski V.Yu., Nevolin V.N., Smurov I. // J. Appl. Phys. 2004. V. 96. N 4. P. 2374--2380
- Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Гнедовец А.Г., Киселев Г.А. // ЖТФ. 2007. Т. 77. В. 11. С. 88--95
- Campos C.E.M., Drago V., Lima J.C., Grandi T.A., Machado K.D., Silva M.R. // J. Magnetism and Magnetic Materials. 2004. V. 269. P. 6--14
- Joshee R., Phase D.M., Ghaisas S.V., Kanetkar S.M., Ogale S.B., Bhide V.G. // J. Appl. Phys. 1986. V. 59. N 2. P. 388--394
- Овчинников В.В., Махинько Ф.Ф., Соломонов В.И., Гущина Н.В., Кайгородова О.А. // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. В. 1. С. 86--94
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.