Наночастицы и нанопроволоки никеля, полученные с помощью сканирующей зондовой литографии методом точечного индентирования
Бизяев Д.А.1, Бухараев А.А.1, Лебедев Д.В.1, Нургазизов Н.И.1, Ханипов Т.Ф.1
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского КазНЦ РАН Казанский (Приволжский) федеральный университет
Email: a_bukharaev@kfti.knc.ru
Поступила в редакцию: 11 марта 2012 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2012 г.
Предложена методика получения нанопроволок и наночастиц металлов на твердых подложках на основе использования литографической полимерной маски, в которой окна для осаждения металла получены с помощью атомно-силового микроскопа методом индентирования. По данной методике на поверхности SiO2 приготовлены проволоки Ni с минимальной шириной 60 nm, толщиной от 6 до 20 nm и длиной до 20 mum; сформированы наночастицы Ni с заданным распределением по поверхности. Методом магнитно-силовой микроскопии визуализирована доменная структура полученных нанообъектов.
- Martin J.I., Nogues J., Liu K. et al. // J. Magnetism and Magnetic Materials. 2003. V. 256. P. 449--501
- Агеев О.А., Федотов А.А., Смирнов В.А. Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники. Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2010. 72 с
- Malshe A.P., Rajurkar K.P., Virwani K.R. et al. // CIRP Annals-Manufacturing Technology. 2010. V. 59. P. 628--642
- Chen Y.J., Hsu J.H., Lin H.N. // Nanotechnology. 2005. V. 16. P. 1112--1115
- Бухараев А.А., Бизяев Д.А., Нургазизов Н.И. и др. // Микроэлектроника. 2012. Т. 41. N 2. С. 90--97
- Голубок А.О., Пинаев А.Л., Чивилихин Д.С. и др. // Научное приборостроение. 2011. Т. 21. N 1. С. 31--43
- Bukharaev A.A., Mozhanova A.A., Nurgazizov N.I. et al. /// Phys. Low-Dim. Struct. 2003. V. 3/4. P. 31--38
- Mironov V.L., Gribkov B.A., Fraerman A.A. et al. // J. Magnetism and Magnetic Materials. 2007. V. 312. P. 153--157
- Dennis C.L., Borges R.P., Buda L.D. et al. // J. Phys.: Condens. Matter. 2002. V. 14. P. R1175--R1262
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук