Вышедшие номера
Применение алмазоподобных углеродных пленок для просветления кристаллов полуизолирующего GaAs в ИК-области спектра
Клюй Н.И.1, Липтуга А.И.1, Лозинский В.Б.1, Лукьянов А.Н.1, Оксанич А.П.1, Тербан В.А.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарёва НАН Украины, Киев Кременчугский государственный университет им. Михаила Остроградского, Украина ОАО "Силикон", Светловодск, Украина
Email: klyui@isp.kiev.ua
Поступила в редакцию: 7 марта 2012 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2012 г.

Проведено исследование влияния обработок в плазме различных газов и последующего осаждения алмазоподобных углеродных пленок (АУП) на пропускание кристаллов полуизолирующего GaAs в ИК-области спектра. Показано, что осаждение АУП толщиной 1-1.5 mum позволяет увеличить пропускание GaAs в диапазоне 4-15 mum, причем предварительная обработка в плазме H+ или Ar+ увеличивает оптическое пропускание структуры АУП-GaAs. Предложен механизм, объясняющий влияние плазменной обработки на оптическое пропускание полуизолирующего GaAs в ИК-области спектра.