Образование поверхностных структур на монокристаллическом кремнии при воздействии мощного ионного пучка наносекундной длительности
Ковивчак В.С.1,2, Панова Т.В.1,2, Кривозубов О.В.1,2, Давлеткильдеев Н.А.1,2
1Омский филиал Института физики полупроводников СО РАН
2Омский государственный университет им. Ф.М. Достоевского
Email: kvs@obisp.oscsbras.ru
Поступила в редакцию: 19 июля 2011 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2011 г.
Исследовано образование структур на поверхности монокристаллического кремния при воздействии мощного протон-углеродного пучка наносекундной длительности. Описаны морфологические особенности возникающих структур. Рассмотрены возможные механизмы их формирования.
- Ковивчак В.С., Давлеткильдеев Н.А. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. В. 10. С. 12--15
- Болотов В.В., Ковивчак В.С., Корепанов А.А. и др. // Поверхность. 2011. N 9. С. 1--3
- Ковивчак В.С., Панова Т.В., Бурлаков Р.Б. // Поверхность. 2006. N 3. С. 70--71
- Lu Y.F., Choi W.K., Aoyagi Y. et al. // J. Appl. Phys. 1996. V. 80. P. 7052--7056
- Larciprete R., Borsella E., Cinti P. // Appl. Phys. A. 1996. V. 62. P. 103--114
- Muller O., De Unamuno S., Prevot B. et al. // Phys. Stat. Sol. (a). 1996. V. 158. P. 385--396
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук