"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Метод селективного легирования кремния сегрегирующими примесями
Юрасов Д.В.1, Дроздов М.Н.1, Мурель А.В.1, Новиков А.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: Inquisitor@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 2 мая 2011 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2011 г.

Предложен оригинальный метод управляемого легирования Si сегрегирующими примесями. Подход основан на быстром изменении температуры роста при молекулярно-пучковой эпитаксии структур между режимами кинетически ограниченной сегрегации и максимальной сегрегации примеси. На примере сурьмы продемонстрировано, что с помощью предлагаемого метода возможно получение селективно-легированных слоев кремния толщиной в несколько нанометров, в которых изменение объемной концентрации примеси на порядок достигается на масштабах 2-3 nm.
  1. Gossmann H.-J., Schubert E.F. // Crit. Rev. Sol. St. Mater. Sci. 1993. V. 18. P. 1
  2. Jorke H. // Surface Science. 1988. V. 193. P. 569
  3. Hobart K.D., Godbey D.J., Twigg M.E., Fatemi M., Thompson P.E., Simons D.S. // Surface Science. 1995. V. 334. P. 29
  4. Nutzel J.F., Abstreiter G. // Phys. Rev. B. 1996. V. 53. P. 13 551
  5. Jiang Z.M., Pei C.W., Liao L.S., Zhou X.F., Zhang X.J., Xun Wang, Jia Q.J., Jiang M., Ma Z.H., Smith T., Sou I.K. // Thin Solid Films. 1998. V. 336. P. 236
  6. Blacksberg J., Hoenk M.E., Nikzad S. // J. Cryst. Growth. 2005. V. 285. P. 473
  7. Arnold C.B., Aziz M.J. // Phys. Rev. B. 2005. V. 72. P. 195 419
  8. Kuznetsov V.P., Andreev A.Yu., Kuznetsov O.A., Nikolaeva L.E., Zotova T.M., Gudkova N.V. // Phys. Stat. Sol. A. 1991. V. 127. P. 371
  9. Kasper E., Kibbel H., Herzog H.-J., Gruhlea A. // Jpn. J. Appl. Phys. 1994. V. 33. P. 2415
  10. Van Gorkum A.A., Nakagawa K., Shiraki Y. // J. Appl. Phys. 1989. V. 65. P. 2485
  11. Ni W.-X., Hansson G.V., Sundgren J.-E., Jultman L., Wallenberg L.R., Yao J.-Y., Market L.C., Greene J.E. // Phys. Rev. B. 1992. V. 46. P. 7551

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.