"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Особенности селективной эпитаксии GaN в круглых окнах
Лундин В.В.1, Заварин Е.Е.1, Рожавская М.М.1, Трошков С.И.1, Цацульников А.Ф.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: lundin.vpegroup@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 8 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2011 г.

Исследованы особенности селективной эпитаксии GaN в круглых окнах. Показано, что с уменьшением потока аммиака увеличивается ширина кристаллитов, а при самых малых исследованных потоках - уменьшается их высота. В результате в дополнение к обычным для таких объектов граням 1101, начинают формироваться грани (0001) и 1100. Обнаружены эффекты подавления роста части кристаллитов при начале их срастания и подавления селективного роста вблизи больших немаскированных поверхностей.
  1. Mukai T., Takekawa K., Nakamura S. // Jpn. J. Appl. Phys. 1998
  2. Wbunerer T., Bruckner P., Neubert B., Scholz F., Feneberg M., Lipski F., Schirra M., Thonke K. // Appl. Phys. Lett. 2006. V. 89. P. 041121
  3. Akasaka T., Andro S., Nishida T., Saito H., Kobayashi N. // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 79. N 10. P. 1414--1416
  4. Kuramoto M., Kimura A., Sasoaka C., Rakida T., Nido M., Mizura M. // Jpn. J. Appl. Phys. 2001. V. 40. P. L925--L927
  5. Chua S.J., Hailong Zhou, Srolovitz D.J., Danxu Du // Phys. Stat. Sol. (C). 2008. V. 5. N 6. P. 1589--1593
  6. Kapolnek D., Undrwood R.D., Kellrer B.P., Keller S., Denbaars S.P., Mishra U.K. // J. Cryst. Growth. 1997. V. 170. P. 340--343
  7. Hiramatsu K., Nishiyama K., Motogaito A., Miyake H., Iyechika Y., Maeda T. // Phys. Stat. Sol. (A). 1999. V. 176. P. 535
  8. Kapolnek D., Keller S., Vetury R., Underwood R.D., Kozodoy P., Den Baars S.P., Mishra K. // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 71 (9). P. 1204
  9. Kitamura S., Hiramatsu K., Sawaki N. // Jpn. J. Appl. Phys. 1995. V.34. P. L1184--L1186
  10. Yakovlev E.V., Talalaev R.A., Kondratyev A.V., Segal A.S., Lobanova A.V., Lu W.V., Zavarin E.E., Sinitsyn M.A., Tsasulnikov A.F., Nikolaev A.E. // Cryst. Growth. 2008. V. 310. P. 4862--3866

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.