Каталитический газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния
Таратын И.А.1, Хатько В.В.1
1Белорусский национальный технический университет Минск, Республика Беларусь
Email: viacheslav.khatko@gmail.com
Поступила в редакцию: 5 марта 2011 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2011 г.
Использование в каталитическом сенсоре типа пеллистор нагревателя из монокристаллического кремния качественно изменяет картину детектирования активных газов. Это изменение связано с нелинейностью вольт-амперной характеристики сенсора. Сдвиг ВАХ в сторону меньших значений тока нагревателя позволяет выделить как положительную, так и отрицательную составляющие сенсорного отклика, определяемые изменением напряжения на сенсоре при фиксированном значении тока нагревателя. При воздействии на сенсор оксида углерода положительная составляющая сенсорного отклика имеет ярко выраженный максимум при токе нагревателя в 28 mA, а величина этого максимума пропорциональна концентрации СО в диапазоне от 0.5 до 2.0 vol. %.
- Chou J. Hazardous Gas Monitors: A Practical Guide to Selection, Operation and Applications. New York: McGraw-Hill Book Company, 1999. 258 p
- Baran S.V., Branitsky G.A., Ivanovskaya M.I. // Sens. Actuators B. Chem. 1993. V. 12. P. 244--247
- Пирс К. // Технология СБИС: В 2-х кн. / Под ред. С. Зи. М.: Мир, 1986. 404 с. (VLSI Technology / Edit. S.M. Sze. New York: McGraw-Hill Book Company, 1983)
- Блат Ф. Физика электронной проводимости в твердых телах. М.: Мир, 1971. 470 с. (Blatt F.J. Physics of electronic conduction in solids. New York: McGraw-Hill Book Company, 1968)
- Khatko V., Soltis R., McBride J., Nietering K. // Sens. Actuators B. Chem. 2001. V. 77. P. 548--554
- Liu L., Zhou F., Wang L., Qi X., Shi F., Deng Y. // J. Catal. 2010. V. 274. P. 1--10
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук