Стехиометрия, фазовый состав и свойства сверхтвердых наноструктурных пленок Ti-Hf-Si-N, полученные с помощью вакуумно-дугового источника в высокочастотном разряде
Погребняк А.Д.1, Шпак А.П.1, Береснев В.М.1, Кирик Г.В.1, Колесников Д.А.1, Комаров Ф.Ф.1, Конарский П.1, Махмудов Н.А.1, Каверин М.В.1, Грудницкий В.В.1
1Институт металлофизики Г.В. Курдюмова НАН Украины, Киев, Украина Харьковский национальный университет, Харьков, Украина Концерн "Укрросметалл", Сумы, Украина Белгородский государственный университет, Белгород, Россия Белорусский государственный университет, Минск, Беларусь Теле-радио исследовательский институт, Варшава, Польша Самаркандский филиал Ташкентского университета информатики, Самарканд, Узбекистан
Email: apogrebnjak@simp.sumy.ua
Поступила в редакцию: 23 ноября 2011 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2011 г.
Получены сверхтвердые наноструктурные покрытия (пленки) на основе Ti-Hf-Si-N с высокими физико-механическими свойствами. С помощью ядерных и атомно-физических методов анализа RBS, SIMS, GT-MS, SEM с EDXS, XRD и наноиндентирования были исследованы элементный, фазовый состав и морфология этих пленок в зависимости от подаваемого на них потенциала смещения на подложку и давления в камере. Обнаружено, что при уменьшении размера нанозерен nc-(Ti,Hf)N от 6.7 до 5 nm и формировании alpha-Si3N4 (аморфной или квазиаморфной фазы как прослойки между нанозернами) возрастает нанотвердость от 42.7 до 48.4-1.6 GPa, однако дальнейшее уменьшение размера кристаллитов (Ti,Hf)N до 4.0 приводит к незначительному уменьшению твердости. Определена стехиометрия состава пленки, которая изменяется от (Ti25-Hf12.5-Si12.5)N50 до композиции (Ti28-Hf18-Si9)N45, также изменяется значение параметра решетки твердого раствора (Ti,Hf)N.
- Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. // УФН. 2009. Т. 179. В. 1. С. 35--64
- Veprek S., Veprek-Hejiman M.G.L., Karvankova P., Prohazka J. // Thin Solid Films. 2005. V. 476. P. 1--29
- Musil J., Baroch P., Zeman P. Hard nanocomposite coatings. Present Status and Trends: in Books Edit. R Wei Plasma Surface Engineering and its Practical Applications. Research Singpost. Publ. 2007
- Veprek S., Argon A.S., Zhang R.F. // Philosophical Magazine Letters 2007. V. 87. N 12. P. 955--966
- Погребняк А.Д., Соболь О.В., Береснев В.М. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. В. 19. С. 103--110
- Pogrebnjak A.D., Danilionok M.M., Drobyshevskaya A.A. // Vacuum. 2009. V. 83. P. 235--239
- Погребняк А.Д., Даниленок М.М., Дробышевская А.А. // Изв. вузов. Физика. 2009. N 12. С. 61--68
- Uglov V.V., Anishnik V.M., Zlotskij S.V. et al. // Surf. and Coat. Tech. 2008. V. 202. P. 2394--2398
- Pogrebnjak A.D., Sobol O.V., Beresnev V.M. et al. // Nanostructured Materials and Nanotechnolody IV: Ceramic Engineering and Science Proceedings. 2010. V. 31. Issue 7. P. 127--139
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук