"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Релаксационная спектроскопия глубоких уровней в полупроводниках методом LAPLACE-DLTS
Левин М.Н.1, Бормонтов А.Е.1, Ахкубеков А.Э.1, Татохин Е.А.1
1Воронежский государственный университет Воронежская государственная технологическая академия
Email: bormontovae83@mail.ru
Поступила в редакцию: 20 мая 2010 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2010 г.

Метод DLTS является одним из основных при определении параметров электрически активных центров локализации заряда в полупроводниках. С целью повышения точности и адекватности получаемых результатов в раборе предложен метод, основанный на применении обратного преобразования Лапласа. Показано, что использование этого метода позволяет определять параметры центров, имеющих близкие значения коэффициентов эмиссии, что невозможно при использовании традиционного метода DLTS.
  1. Lang D.V. // J. Appl. Phys. 1974. V. 45. N 7. P. 3023-3033
  2. Берман Д.Л., Лебедев А.А. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках. Л.: Наука, 1981. 176 с
  3. Nolte D.D., Haller E.E. // J. Appl. Phys. 1987. V. 62. N 3. P. 900-906
  4. Dobaczewski L., Kaczor P., Hawkins I.D., Peaker A.R. // J. Appl. Phys. 1994. V. 76. N 1. P. 194-198
  5. Татохин Е.Е., Каданцев А.В., Бормонтов А.Е., Задорожний В.Г. // ФТП. 2010. Т. 44. N 8. С. 1031-1037
  6. Lawson C.L., Hanson R.J. Solving least squares problems. Prentice-Hall, Englewood Cliffs, 1974. 340 p
  7. Hansen P.C. // SIAM Review. 1992. V. 34. P. 561-580
  8. Левин М.Н., Татаринцев А.В., Ахкубеков А.Э. // ФТП. 2009. Т. 43. В. 5. С. 613-616
  9. Dobaczewski L., Peaker A.R., Binde Nielsen K. // J. Appl. Phys. 2004. V. 96. N 9. P. 4689-4728
  10. Provencher S.W. // Computer Phys. Commun. 1982. V. 27. P. 213-227
  11. Тихонов А.П., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1979. 288 с
  12. Каданцев А.В., Котов Г.И., Левин М.Н., Татаринцев А.В., Шлык Ю.К. // ПТЭ. 2004. N 6. С. 138-139

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.