Особенности формирования рельефа при травлении кремния фокусированным ионным пучком
Герасименко Н.Н.1, Чамов А.А.1, Медетов Н.А.1, Ханин В.А.1
1Московский государственный институт электронной техники, Зеленоград ОАО НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон", Зеленоград, Москва
Email: rmta@miee.ru
Поступила в редакцию: 7 июня 2010 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2010 г.
Экспериментально исследовано воздействие фокусированного ионного пучка на состояние поверхности кремния. Обнаружены периодические кольцеобразные наплывы на стенках вытравливаемого цилиндра. Показана зависимость процесса формирования структур от условий эксперимента. Сделан вывод о влиянии явления радиационной пластичности на эффект образования кольцеобразных периодических структур.
- Chason E., Aziz M.J. // Scripta mater. 2003. V. 49. N 10. P. 953
- Mayr S.J., Averback R.S. // Phys. Rev. Lett. 2001. V. 87. N 19. P. 6106
- Mayr S.J., Ashkenazy Y., Able K. et al. // Phys. Rev. Lett. 2003. V. 90. N 5. P. 5505
- Volkert C.A. // J. Appl. Phys. 1991. V. 70. P. 3521
- Nakai A., Aoki T., Seki T. et al. // NIMB. 2003. V. 206. P. 842
- Goswami D.K., Dev B.N. // Phys. Rev. B. 2003. V. 68. P. 3401
- Insepov Z., Hassanein A., Norem J. et al. Advanced surfa polishing using gas cluster ion beams. Preprint ANL/MCS-P1409-0407. 2007
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук