Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2008, выпуск 21 » Статья стр. 7
<<<>>>
Газофазная эпитаксия нитрида алюминия из триметилалюминия и молекулярного азота
Лундин В.В.1, Заварин Е.Е.1, Синицын М.А.1, Яговкина М.А.1, Цацульников А.Ф.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: lundin.vpegroup@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 7 апреля 2008 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2008 г.
PDF версия
Исследован пиролиз триметилалюминия в реакторе газофазной эпитаксиальной установки в азот-содержащей атмосфере. Показано, что при наличии нитрид-галлиевых покрытий в реакторе продуктом пиролиза триметилалюминия в азот-водородной атмосфере является нитрид алюминия. Данным методом (без введения аммиака в реактор) выращены совершенные эпитаксиальные слои нитрида алюминия. PACS: 81.05.Ea, 81.05.Hd, 81.05.Je, 81.10.Bk, 82.33.Ya, 68.55.ag
  1. Лундин В.В., Заварин Е.Е., Сизов Д.С. // Письма в ЖТФ. 2005. Т. 31. В. 7. С. 52-56
  2. Zavarin E.E., Sizov D.S., Lundin W.V., Tsatsulnikov A.F., Talalaev R.A., Kondratyev A.V., Bord O.V. // Electrochemical Society Proccedings. 2005. V. 9. P. 299-305
  3. Lundin W.V., Talalaev R.A., Zavarin E.E., Sizov D.S., Sinitsyn M.A., Tsatsulnikov A.V. // 11th European Workshop on Metalorganic Vapour Phase Epitaxy. Lausanne, Switzerland, 5-8 June 2005, Booklet of Extended abstracts, P. 331-333
  4. Глинка Н.Л. Общая химия. Л., 1983. 704 с
  5. Ambacher O. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1998. V. 31. P. 2653-2710
  6. Bockowski M. // Cryst. Res. Technol. 2001. V. 36. N 8-10. P. 771-787
  7. Bickermann M., Epelbaum B.M., Winnacker A. // J. Crystal Growth. 2004. V. 269. P. 432-442
  8. Schowalter L.J., Rojo J.C., Yakolev N. et al. // MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 2000. 5S1. W.6.7
  9. Nikolaev A., Nikitina I., Zubrilov A. et al. // MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 2000. 5S1. W.6.5
  10. Заварин Е.Е., Сахаров А.В., Лундин В.В. и др. // Тезисы докладов 2-й Всероссийской конференции "Нитриды галлия, индия и алюминия". С.-Петербург, 2003. С. 91-92
  11. Stringfellow G.B. Organometallic Vapour-Phase Epitaxy: Theory and Practice. (Academic press, 1989, 1999)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme