"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Исследование пространственного распределения интенсивности линий оптической эмиссии плазмы высокочастотного разряда в процессе напыления феррита висмута
Пляка П.С.1,2, Толмачев Г.Н.1,2, Ковтун А.П.1,2
1НИИ физики ЮФУ, Ростов-на-Дону
2Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
Email: pavstef@mail.ru
Поступила в редакцию: 20 февраля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2008 г.

Проведено исследование пространственного распределения линий оптической эмиссии плазмы кислородного ВЧ разряда в процессе напыления пленок BiFeO3. Получены экспериментальные зависимости интенсивности характерных эмиссионных линий в видимой и ближних УФ и ИК областях от расстояния до мишени. Показано отличие для ионов кислорода, атомов кислорода и атомов железа. Выявлены различия в пространственном распределении интенсивности для эмиссионных линий железа 613.7 и 688.6 nm. PACS: 52.70.Kz, 52.80.Pi
  1. Ramesh R., Spaldin N.A. // Nature Materials. 2007. V. 6. P. 21--29
  2. Yun et al. // J. of Appl. Phys. 2004. V. 96. No 6
  3. Bea et al. // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 87. P. 072 508
  4. Lee et al. // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 87. P. 172 901
  5. Qi et al. // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86. P. 062 903
  6. Мухортов В.М. и др. // Труды Южного научного центра РАН. Т. 2: Физика. Механика. Техника. Ростов-на-Дону 2007. С. 224--265
  7. Мухортов В.М. и др. // ЖТФ. 1992. Т. 62. В. 5. С. 22--28
  8. Мухортов В.М. и др. // ЖТФ. 1998. Т. 68. В. 9. С. 99--103

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.