Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2008, выпуск 18 » Статья стр. 14
<<<>>>
Влияние температуры осаждения на структурные и электрофизические свойства тонких пленок титаната бария-стронция
Тумаркин А.В.1, Михайлов А.К.1, Алтынников А.Г.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: thinfilm@eltech.ru
Поступила в редакцию: 6 марта 2008 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2008 г.
PDF версия
Произведено исследование свойств тонких сегнетоэлектрических пленок BSTO, полученных методом высокочастотного ионно-плазменного распыления при различных температурах осаждения в диапазоне 700-900oC. Показано, что при температурах 700-800oC пленки проявляют поликристаллическую структуру, в то время как начиная с 800oC наблюдается изменение структуры пленок таким образом, что появляется доминирующая фаза с ориентацией (111). Исследовано влияние температуры осаждения на размеры кристаллитов полученных пленок, а также сделаны выводы о влиянии особенностей структуры пленок на их электрофизические параметры. PACS: 81.15.kk, 77.84.Dy, 68.55.aj
  1. Козырев А.Б., Иванов А.В., Солдатенков О.И., Разумов С.В., Тумаркин А.В., Айгунова С.Ю. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 24. С. 16--18
  2. Козырев А.Б., Гайдуков М.М., Гагарин А.Г., Тумаркин А.В., Разумов С.В. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. В. 6. С. 51--56
  3. Kozyrev A., Ivanov A., Soldatenkov O., Tumarkin A., Ivanova S., Kaydanova T., Perkins J.D., Alleman J., Ginley D.S., Sengupta L., Chiu L., Zhang X. // Integrated Ferroelectrics. 2003. V. 55. P. 847--852
  4. Razumov S., Tumarkin A., Buslov O., Gaidukov M., Gagarin A., Ivanov A., Kozyrev A., Yong-Won Song, Chan-Sik Park // Integrated Ferroelectrics. 2001. V. 39. P. 367--373
  5. Razumov S.V., Tumarkin A.V., Gaidukov M.M., Gagarin A.G., Kozyrev A.B., Vendik O.G., Ivanov A.V., Buslov O.U., Keys V.N., Sengupta L.C., Zhang X. // Appl. Phys. Lett. 2002. V 81. N 9. P. 1675--1677
  6. Vendik O.G., Razumov S.V., Tumarkin A.V., Nikol'skii M.A., Gaidukov M.M., Gagarin A.G. // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86. P. 022 902
  7. Дисперсионные системы на поверхности твердых тел. Механизмы образования тонких пленок (эволюционный подход) / С.А. Кукушкин, В.В. Слезов. СПб.: Наука, 1996. 304 с
  8. Куличин С.А., Yamaki T., Miyazoe H., Yamamoto H., Terashima K. // Физика твердого тела. 2006. Т. 48. В. 5. С. 658

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme