Двухстадийное легирование кремния изотопами фосфора и серы-32
Махкамов Ш.1, Турсунов Н.А.1, Каримов М.1, Саттиев А.Р.1, Ашуров М.1, Эрдонов М.1, Холмедов Х.М.1
1Институт ядерной физики АН Республики Узбекистан, Ташкент
Email: makhkamov@inp.uz
Поступила в редакцию: 30 октября 2007 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2008 г.
Предложен принципиально новый подход к получению твердых источников примеси серы для диффузионного легирования кремния двухстадийным методом, позволивший устранить эрозию поверхноcти полупроводниковых пластин. Суть этого подхода заключается в превращении радионуклида 32P, продиффундировавшего в приповерхностную область кремния после первой стадии диффузии (загонка), в изотоп 32S. Показано, что в образцах кремния, легированных изотопом 32S, появляются глубокие уровни с энергиями ионизации Ec-0.13, Ec-0.25, Ec-0.37 и Ec-0.50 eV донорного характера, обусловленными примесью серы. Установлено, что диффузия изотопа серы в p-Si приводит к изменению типа проводимости материла, а в n-Si снижает величину удельного сопротивления rho. PACS: 66.30.Jt, 71.55.Cn
- Carlson R.O., Hall R.N., Pell E.M. // J. Phys. Chem. Solids. 1959. V. 8. P. 81--86
- Кирюхин А.Д., Григорьев В.В., Зуев А.В., Зуев В.В., Королев Н.А. // ФТП. 2007. Т. 41. В. 3. С. 269--272
- Pensl G., Roos G., Holm C., Wagner P. Defects in Semiconductors / Ed. H.J. Bardeleben. Materials Science Forum. Switzerland, 1986. V. 10--12. P. 911--916
- Юнусов М.С., Каримов М., Оксенгендлер Л., Юсупов А. // ФТП. 1997. Т. 31. В. 6. С. 708--711
- Махкамов Ш., Турсунов Н.А., Хакимов З.М., Ашуров М., Эрдонов М., Саттиев А.Р. // Ядерная и радиационная физика. Материалы 4 Meжд. конф. Алматы, Казахстан, 15--17 сентября 2003 г. ИЯФ НЯЦ РК, 2004. Т. II. С. 170--181
- Маслов И.А., Лукницкий В.А. Справочник по нейтронному активационному анализу. Л.: Наука, 1971. С. 37
- Берман Л.С., Лебедев А.А. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках. Л.: Наука, 1981. С. 43
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук