Новый метод определения эффективности конверсии лазерного излучения в диапазоне длин волн 13.5± 0.3 nm для источников на основе лазерной плазмы
Домрачева И.В.1, Петренко М.В.1, Степанова З.А.1, Тумакаев Г.К.1, Бобашев С.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: inga.domracheva@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 16 марта 2007 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2007 г.
Проведены эксперименты по регистрации дальнего вакуумного ультрафиолетового излучения (Extreme UltraViolet, далее EUV) от газоструйного источника, использующего в качестве мишени сверхзвуковую струю ксенона. Измерены зависимости энергии EUV излучения от энергии лазерного импульса на сверхзвуковой струе ксенона, а также на металлических мишенях (Cu, Mo, Ta). На основании полученных результатов предложен новый метод определения эффективности конверсии лазерного излучения в EUV диапазон, позволяющий однозначно характеризовать свойства мишеней различных материалов. Обсуждаются пути оптимизации газоструйного ксенонового источника. PACS: 52.38-r.
- Stamm U., Schworer H., Lebert R. // Physik Journal. 2002. V. 1. N 12. P. 33--39
- www.MPRonline.com
- Сейсян Р.П. // ЖТФ. 2005. Т. 75. В. 5. С. 1--13
- Beg F.N., Moustaizis S.D., Tatarakis M., Lee P., Dyson A., Dangor A.E. // Journal of Physics D. Applied Physics. 1998. N 31. P. 2777--2782
- Kondo K., Mori M., Shiraishi T. // Applied Surface Science. 2002. N 197--198. P. 138--144
- Richardson M., Koay C.-S., Takenoshita K., Keyser C., Al-Rabban M. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2004. V. 22. N 2. P. 785--790
- Alekseyev A.G., Belov A.M., Zabrodsky V.V., Sukhanov V.L., Peterson B.J. // Fast XUV 16X16 array hybrid module for plasma imaging applications // 16th International Toki Conference "Advanced Imaging and Plasma Diagnostics". JAPAN, December 5--8, 2006
- http://www-cxro.lbl.gov/optical\_constants/gastrn2.html
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.