Низкотемпературная кристаллизация тонких пленок Ni под воздействием атомарного водорода
Жавжаров Е.Л.1, Бялик Г.А.1, Матюшин В.М.1
1Запорожский Национальный технический университет
Email: jin@zntu.edu.ua
Поступила в редакцию: 4 декабря 2006 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2007 г.
Исследовано влияние атомарного водорода на электрофизические и структурные свойства тонких пленок никеля, полученных термическим вакуумным испарением на диэлектрические подложки. Образцы обрабатывались при температурах 300-310 K, давлении ~20 Pa и концентрации атомарного водорода ~1019 m-3. Показано, что обработка пленок в среде атомарного водорода приводит к изменению их электрофизических и структурных параметров. Предложен механизм воздействия атомарного водорода на тонкие пленки, объясняющий результаты исследования. PACS: 81.15.-z
- Пат. 6423201 США, МПК \7\ С 23 С 28/02; Applied Materials, Ins., Mandrekar Tushar, N 09/644968; Заявл. 23.08.2000; Опубл. 23.07.2002; НПК 205/186
- Шур В.Я. и др. // ФТТ. 2001. Т. 43. В. 5. С. 869--873
- Пат. 5918150 США, МПКМПК \6\ Н 01 L 21/3065; Nguyen Tue, Maa Jer-Shen; Sharp Microelectronics Technology; Sharp K. K. N 08/729567; Заявл. 11.10.96; Опубл. 29.1.99; НПК 438/687
- Лавренко В.А. Рекомбинация атомов водорода на поверхности твердых тел. Киев: Наук. думка, 1973. 204 с
- Матюшин М.В., Савин В.В. // ЖФХ. 2001. Т. 75. В. 7. С. 1291--1294
- Матюшин В.М., Лищенко В.И., Горбань А.Н. // Украинский физический журнал. 1987. Т. 32. N 9. С. 1407--1410
- Ливинов В.Л., Демаков К.Д. и др. // ФТП. 2003. Т. 37. В. 4. С. 473--478
- Дзюбенко Г.А., Лавренко В.А., Непочатов А.Н. // ЖФХ. 1965. Т. 39. В. 10. С. 2622--2626
- Водород в металлах / Под ред. Г. Алефельда, И. Фелькеля. М.: Мир, 1978. Т. 1. 475 с
- Комник Ю.Ф. Физика металлических пленок. Размерные структурные эффекты. М.: Атомиздат, 1977. 264 с
- Имашев Р.Н., Коледов В.В. и др. // ФТТ. 2005. Т. 47. В. 10. С. 1869--1870
- Горелик С.С., Расторгуев Л.Н., Скаков Ю.А. Рентгенографический и электроннооптический анализ. Приложения. М.: Металлургия, 1970. 107 с
- Гельд П.А., Рябов Р.А., Мохрачева Л.П. Водород и физические свойства металлов и сплавов: гидриды переходных металлов. М.: Наука, 1985. 232 с
- Галактионова Н.А. Водород в металлах. М.: Металлургия, 1967. 304 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук