Зависимость доли кристаллической фазы в системе нанокластеров Si в матрице SiO2 от температуры отжига
Емельянов В.И., Семиногов В.Н.
Email: svn@laser.ru
Поступила в редакцию: 16 июня 2006 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2006 г.
Построена модель кристаллизации аморфных нанокластеров в твердотельной матрице. Получено согласие рассчитанной зависимости доли кристаллической фазы от температуры отжига с экспериментальными данными. PACS: 61.46.-w
- Dal Negro L., Casanelli M., Pavesi L. et al. // Appl. Phys. Lett. 2003. Т. 82. С. 4636
- Kenyon A.J. // Semiconductor Science and Technology. 2005. Т. 20. P. R65
- Iacona F., Pacifici D., Irrera A. et al. // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 81. P. 3242.
- Castanga M.E., Coffa S., Monaco M. et al. // Physica E. 2003. V. 16. P. 547
- Лазарук С.К., Лешок А.А., Лабунов В.А. и др. // ФТП. 2005. V. 39. P. 149
- Iacona F., Bongiorno C., Spinella C. // J. Appl. Phys. 2004. V. 95. P. 3723
- Лифшиц Е.М., Питаевский Л.П. // Физическая кинетика. М.: Наука, 1979
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. // Теория упругости. М.: Наука, 1987
- Nugren E., Aziz M.J., Turnbull D. et al. // Appl. Phys. Lett. 1985. V. 47. P. 232
- Bonafos C., Colombeau B., Altibelli A. et al. // Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. B. 2001. V. 178. P. 17
- Lamaestre R.E., Bernas H. // Phys. Rev. B. 2006. P. 125317
- Nesbit L.A. // Appl. Phys. Lett. 1985. V. 46. P. 38
- Zellama K., Germain P., Squelard S. // J. Appl. Phys. 1979. V. 50. P. 6995.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук