Транспортные свойства термически окисленного пористого кремния
Григорьев Л.В.1, Григорьев И.М.1, Заморянская М.В.1, Соколов В.И.1, Сорокин Л.М.1
1НИИ физики им. В.А. Фока, СПбГУ, С.-Петербург Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург
Email: Lev.sorokin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 26 февраля 2006 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2006 г.
Представлены результаты исследования процессов токопереноса в термически окисленном пористом кремнии. Предложена модель, основанная на совокупности прыжкового и туннельного механизмов переноса заряда. Оценены концентрации центров захвата (ловушек) и подвижность носителей заряда на основе измерений вольт-амперных характеристик при 100 и 300 K. PACS: 81.05.-t
- Венгер Е.Ф., Голипей Р.Ю., Матвеева Л.О. // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. 2001. В. 36. С. 199--212
- Соколов В.И., Сорокин Л.М., Калмыков А.Е. и др. // ФТТ. 2005. Т. 47. В. 7. С. 1316--1322
- Биленко Д.И., Белобровая О.Я., Жаркова Э.А. и др. // ФТП. 2002. Т. 36. В. 4. С. 490--495
- Гриценко В.А. Строение и электрическая структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП-структурах. Новосибирск: Наука, Сиб. изд. фирма, 1993. 199 с
- Заморянская М.В., Соколов В.И., Колесникова Е.В. и др. // ФТТ. 2004. Т. 46. В. 6. С. 989--994
- Zamaryanskaya M.V., Sokolov V.I. // Solid State Phenomena. 2005. V. 108--109. P. 649--654
- Lampert M.A., Mark P. Current Injection in Solids. N. Y.: Academic, 1970. (Moscow: Mir, 1973. 413 p.)
- Skuja L.N., Silin A.R. // Phys. Stat. Solidi A. 1982. V. 70. P. 43
- Сканави Г.И. Физика диэлектриков. М.: Физматлит, 1958. Т. 2. 830 с
- Hill R.M. // Phil. Mag. 1971. V. 24. N 192. P. 1307
- Корзо В.Ф., Черняев В.Н. Диэлектрические пленки в микроэлектронике. М.: Энергия, 1977. 367 с
- Барабан А.П., Коноров П.П., Кручинин А.А. // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. 1985. В. 7. С. 31
- Гороховатский Ю.А., Бордовский Г.А. Термоактивационная спектроскопия высокоомных материалов. М.: Наука, 1991. 320 с
- Гилязов С.Ф. Методы решения линейных некорректных задач. М.: Изд-во МГУ, 1987. 128 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
