Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние материала подложки на осаждение углеродных пленок из газовой фазы
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия 
Email: obraz@polly.phys.msu.ru
Поступила в редакцию: 7 марта 2006 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2006 г.
Представлены результаты сравнительного исследования углеродных пленок, полученных плазмохимическим осаждением на подложках, изготовленных из никеля и кремния. Осаждение пленок проводилось из газовой смеси водорода и метана, активированной разрядом постоянного тока. Состав и структурные характеристики пленок анализировались методами комбинационного рассеяния света и растровой электронной микроскопии. Обнаружено, что по сравнению с кремнием образование нанографитных пленок на никеле происходит при существенно более низких температурах и концентрациях метана. PACS: 81.15.Jh
- Obraztsov A.N., Zolotukhin A.A., Ustinov A.O. et al. // Carbon. 2003. V. 41. P. 836--839
- Золотухин А.А., Образцов А.Н., Волков А.П. и др. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. С. 58--63
- Золотухин А.А., Образцов А.Н., Устинов А.О. и др. // ЖЭТФ. 2003. Т. 124. С. 1291--1297
- Obraztsov А.N., Volkov A.P., Zakhidov Al.A. et al. // Appl. Surf. Science. 2003. V. 215. P. 214--221
- Mikheev G.M., Zonov R.G., Obraztsov A.N. et al. // Appl. Phys. Lett. 2004. V. 84. P. 4854--4856
- Физические величины: Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. С. 223
- Lopez-Rios T., Sandre E., Leclercq et al. // Phys. Rev. Lett. 1996. V. 76. P. 4935--4938
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
