Представлены результаты сравнительного исследования углеродных пленок, полученных плазмохимическим осаждением на подложках, изготовленных из никеля и кремния. Осаждение пленок проводилось из газовой смеси водорода и метана, активированной разрядом постоянного тока. Состав и структурные характеристики пленок анализировались методами комбинационного рассеяния света и растровой электронной микроскопии. Обнаружено, что по сравнению с кремнием образование нанографитных пленок на никеле происходит при существенно более низких температурах и концентрациях метана. PACS: 81.15.Jh

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.