Анализ динамических характеристик вакуумной системы
Савранский В.В.1, Невшупа Р.А.1, Деулин Е.А.1, Авдиенко А.А.1
1Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана Государственное унитарное предприятие "МЕТИС", Москва
Email: savransky@bmstu.ru
Поступила в редакцию: 22 июня 2005 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2005 г.
Экспериментально исследовано поведение давления газов в вакуумной системе при динамическом газовыделении в форме последовательности прямоугольных пиков. Показано, что результаты экспериментов совпадают с разработанной ранее моделью.
- Деулин Е.А., Пересадько А.Г. // Контроль. Диагностика. 1998. N 5. С. 21--28
- v Repa P., Rott M. // Vacuum. 1997. Т. 48. В. 7--9. P. 775--778
- Peressadko A.G., Nevshupa R.A., Deulin E.A. // Vacuum. 2002. T. 64. В. 3--4. P. 451--456
- Nevshupa R.A., de Segovia J.L., Deulin E.A. // Vacuum. T. 1999. B. 53. P. 295--298
- Nevshupa R.A., de Segovia J.L. // Vacuum. 2002. T. 64. В. 3--4. P. 425--430
- v Repa P., Oralek D. // Vacuum. 1999. T. 53. B. 1--2. P. 299--302
- Dickinson J.T., Jensen L.C., McKay M.R. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1986. Т. 4. В. 3. P. 1648--1652
- Dickinson J.T., Jensen L.C., Langford S.C. // Phys. Rev. Lett. 1991. T. 66. В. 16. P. 2120--2123
- Nevshupa R.A., de Segovia J.L., Peressadko A.G. et al. // Vacuum. 2003. T. 69. P. 477--487
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук