"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Азотирование технически чистого титана в тлеющем разряде с полым катодом
Ахмадеев Ю.Х.1, Гончаренко И.М.1, Иванов Ю.Ф.1, Коваль Н.Н.1, Щанин П.М.1
1Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: schanin@opee.hcei.tsc.ru
Поступила в редакцию: 13 марта 2005 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2005 г.

Приведены результаты исследования азотирования титана марки ВТ1-0 при низких давлениях и низких температурах (=<550oC) в плазме тлеющего разряда с полым катодом. В плазме с концентрацией n=1010-1011 cm-3 диффузионное насыщение титана азотом происходит при плотностях ионного тока на катоде 1.6-4.0 mA/cm2, причем, как было установлено в процессе насыщения, определяющую роль играет атомарный азот. Выявлено формирование градиентной структуры с высокой 14 GPa микротвердостью на поверхности.
  • Rei K.T., Lampe T. // Mater. Sci. Eng. 1985. V. 69. P. 437--481
  • Панайоти Т.А. // ФХОМ. 2003. N 4. С. 70--78
  • Smyslov A.M., Safin E.V. // Proc. of 5-=SUP=-th-=/SUP=- Conf. on Modif. of Mater. with Particle Beams and Plasma Flow. Tomsk, Russia. 2000. P. 352--353
  • Будилов В.В., Агзамов Р.Д. // Proc. of 6-=SUP=-th-=/SUP=- Intern. Conf. on Modif. of Mater. with Particle Beams and Plasma Flow. Tomsk, Russia. 2002. P. 428--431
  • Неровный В.М., Перемитько В.В. // ФХОМ. 1995. N 3. С. 49--54
  • Гусева М.И., Гордеева Г.М., Мартыненко Ю.В. и др. // ФХОМ. 1999. N 2. С. 11--16
  • Efstathios I. Meletis. // Surf. and Coatings Technology. 2002. V. 149. P. 95--113
  • Щанин П.М., Коваль Н.Н., Ахмадеев Ю.А., Григорьев С.В. // ЖТФ. 2004. Т. 74. В. 5. С. 24--29
  • Cao Z.X., Oecher H. // J. Vac. Sci. Technology. A V. 22(2). March/Apr. 2004. P. 321--323
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.