Проводимость и коэффициент Холла наноструктурных пленок нитрида титана
Андриевский Р.А., Дашевский З.М., Калинников Г.В.
Email: zdashev@bgumail.bgu.ac.il
Поступила в редакцию: 12 мая 2004 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2004 г.
Представлены экспериментальные данные о проводимости и коэффициенте Холла наноструктурных пленок TiN, полученных методом магнетронногонереактивного синтеза. Обсуждается механизм проводимости и влияние размера кристаллитов.
- Hirashita N., Greene J.E., Helmerson U. et al. // J. Appl. Phys. 1991. V. 70. N 9. P. 4963--4968
- Tsai W., Delfino M., Fair J.A. et al. // J. Appl. Phys. 1993. V. 73. N 9. P. 4462--4467
- Андриевский Р.А. // Успехи химии. 1997. Т. 66. N 1. С. 57--77
- Андриевский Р.А., Калинников Г.В., Кобелев Н.П. и др. // ФТТ. 1997. Т. 39. N 10. С. 1859--1864
- Andrievski R.A., Kalinnikov G.V. // Surf. Coat. Technol. 2001. V. 142--144. N 1. P. 573--578
- Калинников Г.В., Андриевский Г.В. // Перспективные материалы. 2003. N 4. С. 26--28
- Johansson B.O., Sundgren J.-E., Greene J.E. et al. // J. Vac. Sci. Technol. 1985. V. A3. P. 303--310
- Жураковский Е.А., Немченко В.Ф. Кинетичеcкие характеристики и электронная структура фаз внедрения. Киев: Наук. думка, 1990. 304 с
- Johansson B.O., Hentzell H.T., Harper J.M. et al. / J. Mater. Res. 1986. V. 1. P. 442--447
- Гольцман Б.М., Дашевский З.М. Пленочные термоэлементы: физика и применение. М.: Наука, 1985
- Андриевский Р.А., Глезер А.М. // ФММ. Т. 88. N 1. С. 50--73
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук