Для метода вторично-ионной масс-спектрометрии на приборе IMS-4f Cameca продемонстрирован новый режим анализа, который позволил достичь разрешения по глубине lambda=1.4 nm и получить распределения мышьяка в кремнии, близкие к истинным. В образцах кремния, имплантированных As⁺ через слой термического оксида толщиной 20 nm с энергией 30 keV и дозами (1.25/3.13)xx10¹³ cm^-2, обнаружено формирование резкого пика мышьяка на границе оксид / кремний за счет диффузионного смещения мышьяка к данной границе после отжигов.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.