"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Взаимодействие кобальта с поверхностью окисленного кремния
Гомоюнова М.В.1,2, Пронин И.И.1,2, Галль Н.Р.1,2, Молодцов С.Л.1,2, Вялых Д.В.1,2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Institut fur Oberflachen- und Mikrostrukturphysik, Technische Universitat, Dresden, Germany
Email: Marina.Gomoyunova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 24 марта 2004 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2004 г.

Методом фотоэлектронной спектроскопии высокого разрешения впервые изучены начальные стадии роста CoSi2 на поверхности Si(100)-2x1 с участием кислорода. Исследована эволюция электронной структуры поверхности как в процессе ее окисления, так и последующего нанесения кобальта и отжига образцов. Обнаружено, что атомы кобальта проникают в область межфазовой границы окись кремния-кремний даже при комнатной температуре, и установлена роль этого эффекта в улучшении морфологических характеристик формирующейся эпитаксиальной пленки CoSi2.
  • Jimenez J.R., Schowalter L.J., Hsiung L.M. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1990. V. 8. N 3. P. 3014--3018
  • Bulle-Lieuwma C.W.T., van Ommen A.H., Hornstra J. et al. // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. N 5. P. 2211--2224
  • Gomoyunova M.V., Pronin I.I., Valdaitsev D.A. et al. // Phys. Low-Dim. Struct. 2002. V. 3/4. P. 163--176
  • Tung T.R. // Appl. Phys. Lett. 1996. V. 68. N 24. P. 3461--3463
  • Tung T.R. // Jpn. J. Appl. Phys. 1997. V. 36. Part 1. N 3B. P. 1650--1654
  • Hayasshi Y., Yoshinaga M., Ikeda H. et al. // Surf. Sci. 1999. V. 438. P. 116--122
  • Ishizaka A., Shiraki Y. // J. Electrochim. Soc. 1986. V. 133. N 4. P. 666--670
  • Landemark E., Karlsson C.J., Chao Y.-C. et al. // Phys. Rev. Lett. 1992. V. 69. N 10. P. 1588--1591
  • Pi T.-W., Hong I.-H., Cheng C.-P. et al. // J. Electr. Spectr. Rel. Phenom. 2000. V. 163--167. P. 327--331
  • Koh H., Kim J.W., Choi W.H. et al. // Phys. Rev. B. 2003. V. 67. N 7. P. 073306(4)
  • Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Галль Н.Р. и др. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. N 12. С. 25--32
  • Hollinger G., Himpsel F.J. // Phys. Rev. B. 1983. V. 28. N. 6. P. 3651--3653
  • Hoshino Y., Nishimura T., Nakada T. et al. // Surf. Sci. 2001. V. 488. P. 249--255
  • Morgen P., Jensen T., Gundlach C. et al. // Computational Materials Science. 2001. V. 21. P. 481--487
  • Gallego J.M., Miranda R., Molodtsov S. et al. // Surf. Sci. 1990. V. 239. P. 203--212
  • Rangelov G., Augustin P., Stober J. et al. // Phys. Rev. B. 1994. V. 49. N 11. P. 7535--7542
  • Rangelov G., Fauster Th. // Surf. Sci. 1996. V. 365. P. 403--410
  • Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Галль Н.Р. и др. // ФТТ. 2003. Т. 45. N 8. С. 1519--1522
  • Yeom H.W., Hamamatsu H., Ohta T. et al. // Phys. Rev. B. 1999. V. 59. N 16. P. R10413--R10416
  • Takahashi F., Irie T., Shi J. et al. // Appl. Surf. Sci. 2001. V. 169, 170. P. 315--319
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.