Эмиттеры из углеродных нанотрубок для планарной эмиссионной вакуумной микро- и наноэлектроники
Гаврилов С.А.1, Ильичев Э.А.1, Полторацкий Э.А.1, Рычков Г.С.1, Дворкин В.В.1, Дзбановский Н.Н.1, Суетин Н.В.1
1Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина", Москва Научно-исследовательский институт ядерной физики Московского государственного университета, Москва
Email: polt@niifp.ru
Поступила в редакцию: 8 января 2004 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2004 г.
Рассматриваются конструкция и технология изготовления эмиттеров на основе углеродных нанотрубок для нового класса приборов планарной вакуумной микро- и наноэлектроники. В экспериментальных образцах диодных структур пороговые напряженности поля составляли ~ 2 V/mu m, а отношение прямого тока к обратному более 105. Полученный разброс характеристик позволяет говорить о создании интегральных схем, при этом ожидается высокое быстродействие и расширение температурного диапазона до 300oC.
- David S.Y.Hsu. // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 80. P. 2988--2990
- Li D., Zhang J. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2001. V. 19 (5). P. 1820--1823
- Sohn J.I., Lee S. // Appl. Phys. A. 2002. V. 74. P. 287--290
- Ha J.K., Chung B.H., Han S.Y. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2002. V. 20 (50). P. 2080--2084
- Iwasaki T., Motoi T., Den T. // Appl. Phys. Lett. 1999. V. 75. P. 2044--2046
- Wang L., Gao R.P., Heer W.A. et al. // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 80. P. 856--859
- Dvorkin V.V., Dzbanovsky N.N., Poltoratsky E.A. et al. // ECS Meeting, Paris, France (Spring 2003), PV 2003--15<ISBN1--56677--397--0> Fullerens Vol. 13-Fullernes and Nanotubes: The Building Blooks of Next Generation Nanodevices. P. 405--410
- Gavrilov S.A., Dzbanovsky N.N., Dvorkin V.V. et al. // Proceedings of 11th International Symposium "Nanostructures: Physics and Technology". St. Petersburg, Russia. June 23--28, 2003. P. 234--236
- Gavrilov S.A., Dzbanovsky N.N., Dvorkin V.V. et al. // Abstr. Int. Conf. "Micro- and nanoelectronics --- 2003", October 6--10, Moscow--Zvenigorod, Russia, 2003. O1--27
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук