Тонкая структура углеводородных пленок, полученных в плазме микроволнового газового разряда низкого давления
Алехин А.А.1, Суздальцев С.Ю.1, Яфаров Р.К.1
1Саратовское отделение ИРЭ РАН
Email: pirpc@renet.ru
Поступила в редакцию: 7 февраля 2003 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2003 г.
Исследованы условия получения и тонкая структура пленочных углеродных материалов различных аллотропных модификаций, обладающих заданными электрофизическими свойствами. Построена диаграмма полиморфных превращений в углеродных пленках, полученных в микроволновой плазме паров этанола низкого давления. Определены технологические факторы, влияющие на эффективность экстракции алмазоподобных кристаллитов из углеводородной матрицы. Показано, что размер и поверхностная концентрация микрокристаллитов, которые можно экстрагировать из углеводородной матрицы, зависят от режима экстракции, исходной толщины слоя и могут составлять от 10-12 до 100-120 nm и 1.4· 107 cm-2 соответственно.
- Алмаз в электронной технике: Сб. ст. / Отв. ред. В.Б. Квасков. М.: Энергоатомиздат, 1990. 248 с
- Дерягин Б.В., Федосеев Д.В. Рост алмаза и графита из газовой фазы. М.: Наука, 1977. 116 с
- Образцов А.Н., Павловский И.Ю., Волков А.П. // ЖТФ. 2001. Т. 71. В. 11. С. 89--95
- Былинкина Н.Н., Муштакова С.П., Суздальцев С.Ю., Яфаров Р.К. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 21. С. 89--93
- Суздальцев С.Ю., Сысуев С.В., Яфаров Р.К. // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. В. 4. С. 25--31
- Суздальцев С.Ю., Яфаров Р.К. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 15. С. 77--83
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук