Планарный эксимерно-галогенный излучатель с накачкой поперечным высокочастотным разрядом
Шуаибов А.К.1, Дащенко А.И.1, Шимон Л.Л.1, Шевера И.В.1
1Ужгородский национальный университет
Email: ishev@univ.uzhgorod.ua
Поступила в редакцию: 8 января 2003 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2003 г.
Представлены результаты исследования характеристик планарного источника широкополосного коротковолнового излучения с накачкой поперечным высокочастотным (f=1.76 MHz) разрядом, который зажигался в смеси Kr/Xe/Cl2 (P=< 500 Pa). Исследованы спектральные характеристики излучения плазмы в области 130-600 nm, осциллограммы напряжения, тока и излучения разряда, зависимость мощности излучения от давления и парциального состава рабочей смеси, а также электрической мощности разряда. Установлено, что источник излучает преимущественно в спектральном диапазоне 170-330 nm на системе полос молекул XeCl (D, B-X), KrCl (B-X), Cl2(D'-A') и Cl2**. Для получения максимальной мощности УФ-ВУФ излучения наиболее оптимальными были газовые смеси P(Kr)/P(Xe)/P(Cl2) = 150-200/150-200/20-40 Pa. Максимальная мощность излучения в угол 4pi с двух рабочих апертур суммарной площадью S=< 100 cm2 достигала 30-40 W. В околопороговой области по напряжению зажигания поперечного разряда обнаружены узкие пики излучения плазмы, образование которых может быть связано со скачками плотности электронов, положительных и отрицательных ионов на границе "плазма-слой" высокочастотного разряда.
- Головицкий А.П., Кан С.Н. // Опт. и спектр. 1993. Т. 75. N 3. С. 604--609
- Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. // Квант. электрон. 2002. Т. 32. N 3. С. 279--280
- Lomaev M.I., Tarasenko V.F. // SPIE. 2002. V. 4747. P. 390--398
- Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. // ЖТФ. 1997. Т. 67. B. 2. С. 43--46
- Головицкий А.П. // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. В. 6. С. 63--67
- Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н. // Физика плазмы. 1992. Т. 18. В. 11. С. 1176--1188
- Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. В. 6. С. 23--28
- Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. // Укр. физ. журн. 2002. Т. 47. N 4. С. 346--349
- Shuaibov А.К., Shimon L.L., Laschenko A.I., Shevera I.V. // Journ. of Phys. Stud. 2001. V. 5. N 2. P. 131--138
- Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шимон Л.Л., Шевера И.В. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. В. 16. С. 85--89
- Дацюк В.В., Измайлов И.А., Кочелап В.А. // УФН. 1998. Т. 168. N 4. С. 439--464
- Головицкий А.П., Лебедев С.В. // Опт. и спектр. 1997. Т. 82. N 2. С. 251--255
- Швейгерт В.А. // Физика плазмы. 1991. Т. 17. В. 7. С. 844--854
- Каганович И.Д., Цендин Л.Д. // Физика плазмы. 1993. Т. 19. В. 10. С. 1229--1240
- Каганович И.Д. // Физика плазмы. 1995. Т. 21. N 5. С. 434--441
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук