Влияние числа атомов углерода в молекулярном предшественнике на размер кристаллитов алмазных пленок при плазмохимическом газофазном осаждении
Поляков О.В., Городецкий Д.В., Окотруб А.В.
Поступила в редакцию: 28 января 2013 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2013 г.
Представлены результаты исследования влияния числа атомов углерода молекулы углеродсодержащего предшественника на размер кристаллитов алмазных пленок, выращенных на кремниевых подложках в условиях стимулированного СВЧ-плазмой процесса химического газофазного осаждения. Продемонстрировано, что размер кристаллитов уменьшается с увеличением числа углеродных атомов в молекуле. Обнаруженная тенденция коррелирует с возрастанием интенсивности линии C2 (516.5 nm) в оптическом эмиссионном спектре плазмы, что, вероятно, связано с участием радикалов C2 в зарождении дополнительных центров нуклеации на поверхности растущей алмазной пленки
- Angus J.C., C.C. Hayman C.C. // Science. 1988. V. 241. P. 913--920
- Shikata S. // MRS Bulletin. 1998. V. 23 (9). P. 61--67
- Hemle R.J., Chen Y.-C., Yan C.-S. // Elements. 2005. V. 1. P. 105--108
- Fox O.J.L., Ma J., May P.W., Ashfold M.N.R., Mankelevich Yu.A. // Diamond Relat. Mater. 2009. V. 18. P. 750--758
- He X.C., Shen H.S., Zhang Z.M., Hu X.J., Wan Y.Z., Shen T. // Diamond Relat. Mater. 2000. V. 9. P. 1626--1632
- Stoneham A.M., Ford I.J., Chalker P.R. // MRS Bulletin. 1998. V. 23 (9). P. 28--34
- Grudinkin S.A., Golubev V.G., VuY A.Ya. // Proc. Int. Conf. "Trends in Nanotechnology (TNT 2001)". September 3--7. Segovia, Spain, 2001. P. 225--228
- Kweon D.-W., Lee J.-Y., Kim D. // J. Appl. Phys. 1991. V. 69. P. 8329--8336
- Mankelevich Yu.A., Ashfold M.N.R., Ma J. // J. Appl. Phys. 2008. V. 104. P. 113 304--113 315
- Richley J.C., Harvey J.N., Ashfold M.N.R. // J. Phys. Chem. A. 2009. V. 113. P. 11 416--11 422
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук