Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Особенности структурирования поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ плазменной обработке в различных газовых средах
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия 
Email: pirpc@yandex.ru
Поступила в редакцию: 29 мая 2012 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2013 г.
Исследованы закономерности влияния режимов СВЧ плазменной обработки на наноморфологию поверхности монокристаллов кремния кристаллографической ориентации (100) с естественным оксидным покрытием. Рассмотрены модельные механизмы процессов наноструктурирования поверхности при плазменной обработке в газовых средах с различной селективностью к гетероструктурному материалу подложки.
- Леденцов Н.Н., Устинов В.М., Щукин В.А., Копьев П.С., Алферов Ж.И., Бимберг Д. // ФТП. 1998. Т. 32. В. 4. С. 385--410
- Шаныгин В.Я., Яфаров Р.К. // ФТП. 2011. Т. 45. В. 11. С. 1542--1548
- Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н. Кремний --- материал наноэлектроники. М.: Техносфера, 2007. 352 с
- Xu S., Levchenko I., Huang S.Y., Ostrikov K. // Appl. Phys. Lett. 2009. V. 95. P. 111 505
- Fatima Toor, Matthew R. Page, Howard M. Branz, Hao-Chih Yuan. Preprint. Presentedat the 37th IEEE Photovoltaic Specialists Conference (PVSC 37). Seattle, Washington, June 18--24, 2011
- Шаныгин В.Я., Яфаров Р.К. // ЖТФ. 2009. Т. 79. В. 12. С. 73--78
- Яфаров Р.К. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий. М.: Физматлит, 2009. 216 с
- Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. М.: Радио и связь. 1986. 232 с
- Технология СБИС: В 2 кн. / Пер. с англ. Под ред.С.Зи. М.: Мир, 1985. 404 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
