Влияние кластеризации потока на толщину пленок, осажденных при магнетронном и импульсном лазерном распылении металлооксидов
Окунев В.Д.1, Lewandowski S.J.1, Szymczak R.1, Szymczak H.1, Дьяченко Т.А.1, Исаев В.А.1, Николаенко Ю.М.1, Abal'oshev A.1, Gier owski P.1, Bielska-Lewandowska H.1
1Донецкий физико-технический институт НАН Украины Instytut Fizyki PAN,Al. Lotnikow 32, 02-668 Warszawa, Poland
Email: okunev@mail.fti.ac.donetsk.ua
Поступила в редакцию: 4 августа 2011 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2012 г.
Изучена связь между кластеризацией потока вещества и толщиной пленок при магнетронном и импульсном лазерном распылении мишеней La0.7Sr0.3MnO3 и YBa2Cu3O7-delta. Установлено, что для магнетронного распыления из-за низкой концентрации атомов (ионов) распыленного материала кластеризация потока в эксперименте не выявляется. В соответствии с расчетом для случая невзаимодействующих атомов наблюдается экспоненциальное уменьшение толщины пленок (h) с увеличением расстояния от мишени (L). Для импульсного лазерного распыления, при котором концентрация распыленного вещества в плазме на 4 порядка выше, наблюдается резкое отклонение зависимости h(L) от расчетной при расстояниях от мишени, больших 6.2 cm, что обусловлено началом интенсивной кластеризации потока лазерной плазмы.
- Окунев В.Д., Самойленко З.А. // Письма в ЖЭТФ. 1986. Т. 43. В. 1. С. 24--27; 1991. T. 53. В. 1. С. 42--45
- Okunev V.D., Samoilenko Z.A., Abal'oshev A., Abal'psheva I., Gierlowski P., Klimov A., Lewandowski S.J. // Phys. Rev. B. 2000. V. 62. N 1. P. 696--701
- Wegner K., Piseri P., Tafreshi H., Milani P. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2006. V. 39. N 22. P. R439--R459
- Lucovsky G., Phillips J.C. // Solid-State Electronics. 2007. V. 51. P. 1308--1318
- Okunev V.D., Szymczak R., Baran M., Szymczak H., Gierlowski P. // Phys. Rev. B. 2006. V. 74. N 1. P. 014404 (1--12)
- Окунев В.Д., Самойленко З.А., Szymczak R., Lewandowski S.J. // ЖЭТФ. 2005. Т. 128. В. 1. С. 150--167
- Goodenough J.B., Zhou J.S., Rivadulla F., Winkler E. // J. Solid. State Chem. 2003. V. 175. N 1. P. 116--123
- Coey J.M.D., Viret M., von Molnar S. // Adv. Phys. 1999. V. 48. N 2. P. 167--293
- Dagotto E. // Science. 2005. V. 309. N 5732. P. 257--262
- Okunev V.D., Samoilenko Z.A., Svistunov V.M., Abal'oshev A., Dynowska E., Gierlowski P., Klimov A., Lewandowski S.J. // J. Appl. Phys. 1999. V. 85. N 10. P. 7282--7290
- Окунев В.Д., Исаев В.А., Дьяченко Т.А., Lewandowski S.J. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 34. В. 2. С. 46--54
- Окунев В.Д., Lewandovski S.J., Дьяченко Т.А., Abal'oshev A., Gierlowski P., Исаев В.А. // ФТТ. 2011. Т. 53. В. 1. С. 15--23
- Okunev V.D., Samoilenko Z.A., Pafomov N.N., D'yachenko T.A., Plehov A.L., Szymczak R., Baran M., Szymczak H., Lewandowski S.J. // Phys. Lett. A. 2005. V. 346. N 1--3. P. 232--242
- Singh R.K.,Narayan J. // Phys. Rev. B. 1990. V. 41. N 13. P. 8843--8859
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук