Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2012, выпуск 1 » Статья стр. 21
<<<>>>
Эпитаксия нитрида галлия в полуполярном направлении на кремнии
Бессолов В.Н.1, Жиляев Ю.В.1, Коненкова Е.В.1, Полетаев Н.К.1, Шарофидинов Ш.1, Щеглов М.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: bes@triat.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 6 июня 2011 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2011 г.
PDF версия
Излагается идея нового технологического метода выращивания слоев нитрида галлия на кремниевой подложке ориентации (100). Экспериментально показано, что создание специально ориентированного тонкого 600 nm слоя нитрида алюминия методом газофазной эпитаксии в хлоридной системе (HVPE) позволяет получить рост нитрида галлия в полуполярном направлении. Полуширина кривой качания рентгеновской дифракции для лучших слоев omegatheta(0004)=30 arcmin; в спектрах фотолюминесценции GaN при 77 K проявляются экситонная и донорно-акцепторные полосы рекомбинации.
  1. Baker T.J. et al. // Jpn. Appl. Phys. Part 2. 2006. V. 45. P. L154
  2. Wagner B.P. et al. // J. Crystal Growth. 2006. V. 290. P. 504
  3. Tanikawa T. et al. // Phys. Stat. Sol. 2008. V. 5. P. 2966
  4. Abe Y. et al. // Materials Science Forum. 2009. V. 600--603. P. 1281
  5. Бессолов В.Н. и др. // Письма в ЖТФ. 2006. Т. 32. В. 15. С. 60
  6. Polyakov A.Y. et al. // Appl. Phys. Lett. 2009. V. 94. P. 022114
  7. Dadgar A. et al. // New J. Physics. 2007. V. 9. P. 389
  8. Ji X.H., Zhai J.W. // J. Electronic Materials. 2008. V. 37. P. 573
  9. Abe Y. et al. // J. Crystal Growth. 2011. V. 318. P. 460
  10. Ishikawa et al. // J. Crystal Growth. 1998. V. 189--190. P. 178
  11. Joblot S. et al. // J. Crystal Growth. 2005. V. 280. P. 44
  12. Jhong S.B. et al. // Next-Generation Electronics International Symposium. Kaohsiung, Taiwan, 2010. P. 96
  13. Wet T.B. et al. // J. Electrochemical Society. 2010. V. 157. P. H721
  14. Wernicke T. et al. // Phys. Status Solidi B. 2011. V. 248. P. 547
  15. Yu. P.W. et al. // J. Appl. Phys. 2001. V. 89. P. 1692

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme