"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Прозрачные и проводящие наноалмазные пленки, легированные бором
Феоктистов Н.А.1, Грудинкин С.А.1, Рыбин М.В.1, Смирнов А.Н.1, Алексенский А.Е.1, Вуль А.Я.1, Голубев В.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Grudink@gvg.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 8 октября 2010 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2011 г.

Методом микроволнового плазмохимического осаждения из газовой фазы получены легированные бором наноалмазные (НА) пленки на кварцевой подложке. Показано, что использование режимов осаждения, обеспечивающих выращивание легированных НА-пленок, в совокупности с нанесением начального нуклеационного слоя детонационных наноалмазов с небольшой шероховатостью (<15 nm) и с большим числом центров зародышеобразования алмазной фазы на единицу площади (>1010 cm-2), дает возможность получать прозрачные в УФ-видимой области спектра проводящие НА-пленки. Исследовано изменение их прозрачности и проводимости в зависимости от концентрации бора и содержания метана в газовой смеси метан-водород.
  1. Wang W.L., Liao K.J., Cai C.Z., Zhu Y.B., Ma Y., Liao H.Y. // Diamond. Relat. Mater. 2003. V. 12. N 8. P. 1385--1388
  2. Tadjer M.J., Hobart K.D., Caldwell J.D., Butler J.E., Liu K.X., Eddy C.R., Gaskill D.K., Lew K.K., Van Mil B.L., Myers-Ward R.L., Ancona M.G., Kub F.J., Feygelson T.I. // Appl. Phys. Lett. 2007. V. 91. P. 163508
  3. Виноградов А.Я., Голубев В.Г., Феоктистов Н.А. Заявка на патент РФ N 2009125117 от 30.06.2009, решение о выдаче патента от 06.05.2010
  4. Байдакова М.В., Вуль А.Я., Сиклицкий В.И., Фалеев Н.Н. // ФТТ. 1998. Т. 40. В. 4. P. 776--780
  5. Алексенский А.Е., Вуль А.Я., Яговкина М.А. / Патент РФ 2322389 с приоритетом от 20.04.2008
  6. Алексенский А.Е., Байдакова М.В., Вейнгер А.И., Вуль А.Я., Вуль С.П., Яговкина М.А. / Патент РФ 2322389 с приоритетом от 06.10.2008
  7. Swanepoel R. // J. Phys. E: Sci. Instrum. 1983. V. 16. P. 1214--1222
  8. Yin Z., Akkerman Z., Yang B.X., Smithe F.W. // Diamond Rel. Mater. 1997. V. 6. N 1. P. 153--158
  9. Chen L.C., Wang T.Y., Yang J.R., Chen K.H., Bhusari D.M., Chang Y.K., Hsieh H.H., Pong W.F. // Diamond Relat. Mater. 2000. V. 9. N 3--6. P. 877--882
  10. Chen L.C., Kichambare P.D., Chen K.H., Wu J.-J., Yang J.R., Lin S.T. // J. Appl. Phys. 2001. V. 89. N 1. P. 753--759
  11. Ulczynski M.J., Wright B., Reinhard D.K. // Diamond Relat. Mater. 1998. V. 7. N 11--12. P. 1639--1646
  12. Feoktistov N.A., Golubev V.G., Grudinkin S.A., Perova T.S., Vul'A Ya. Synthesis, Properties and Applications of Ultrananocrystalline Diamond. Springer, 2005. P. 145--156
  13. Leeds S.M., Davis T.J., May P.W., Pickard C.D.O., Ashfold M.N.R. // Diamond Rel. Mater. 1998. V. 7. N 2--5. P. 233--237
  14. Gruen D. // Annu. Rev. Sci. 1999. V. 29. P. 211--259
  15. Ferrari A.C., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2001. V. 63. P. 121405 (R)
  16. Preiffer R., Kuzmany H., Salk N., Gunter B. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 82. N 23. P. 4149--4151

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.