"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
О текущем контроле роста пленок цирконата-титаната свинца в камере газового разряда
Зинченко С.П.1, Ковтун А.П.1, Толмачев Г.Н.1
1Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
Email: tres-3@mail.ru
Поступила в редакцию: 14 декабря 2009 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2010 г.

В режиме реального времени (in situ) в ходе газоразрядного напыления пленок цирконата-титаната свинца Pb(ZrxTi1-x)O3 (ЦТС) на подложку из нержавеющей стали обнаружена осцилляторно затухающая зависимость интенсивности зеркально отраженного от пленки на подложке оптического излучения с длиной волны 0.640 mum. Выявлены зависимость параметров кривых отражения от вводимой в разряд мощности и корреляция этих параметров с типом получаемых пленок (со структурами типа пирохлора и перовскита). Метод позволяет уже на начальной стадии контролировать в режиме in situ технологические параметры напыления, определяющие нужные физические характеристики.
  1. Scott J.F. // Ferrroelectrics Review. 1998. V. 1. P. 1--29
  2. Shimada Y., Nakao K., Inoue A. et al. // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 71. N 17. P. 2538--2540
  3. Muralt P. // Reports on Progress in Physics. 2001. V. 64. P. 1339--1388
  4. De Araujo C.A.-P., Cuchiaro J.D., McMillan L.D. et al. // Nature. 1995. V. 374. P. 627--629
  5. Xiaoming Wu, Yi Yang, Jian Cai, Tianling Ren, Litian Liu // Integrated Ferroelectrics. 2005. V. 69. P. 417--430
  6. Есипов Ю.В., Мухортов В.М. // ЖТФ. 2009. Т. 79. В. 1. С. 82--85
  7. Мухортов В.М., Толмачев Г.Н., Мащенко А.И. и др. // ЖТФ. 1992. Т. 62. В. 5. С. 495--499
  8. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. // Электродинамика сплошных сред. М.: Наука, 1982. 620 с
  9. Физический энциклопедический словарь. / Гл. ред. А.М. Прохоров. М.: Сов. энциклопедия, 1983. С. 409

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.