Формирование наноструктурированных тонких слоев при их газогетерогенном синтезе из малоразмерных летучих металлокомплексов на поверхности полупроводников и диэлектриков
Бадалян А.М.1,2,3, Бахтурова Л.Ф.1,2,3, Каичев В.В.1,2,3, Кашников Б.П.1,2,3, Поляков О.В.1,2,3, Пчеляков О.П.1,2,3, Смирнов Г.И.1,2,3
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
3Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, Россия
Email: trend@che.nsk.su
Поступила в редакцию: 21 октября 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.
Представлен и исследован новый метод формирования наноструктурированных тонких слоев при их газогетерогенном синтезе из малоразмерных летучих металлокомплексов. Наноструктурированные тонкие слои меди на кремниевых и кварцевых подложках синтезированы из малоразмерных формиатных металлокомплексов на основе совмещенного синтеза-переноса. Выявлено, что осажденный слой имеет характерную плотно упакованную зернистую структуру с преимущественным содержанием меди в металлическом состоянии Cu0 наноразмерных зерен.
- Алфёров Ж.И. // УФН. 2002. Т. 172. N 9. С. 1068--1109
- Болховитянов Ю.Б., Пчеляков О.П. // УФН. 2008. Т. 178. N 5. С. 459--480
- Antsiferov V.V., Smirnov G.I. Coherent radiation processes in plasma. CISP. Cambridge, 1998. 236 p
- Латышев А.В., Асеев А.Л. Моноатомные ступени на поверхности кремния. Новосибирск: Изд. СО РАН, 2006. 242 с
- Кашников Б.П., Макаров В.В., Макаров Е.В., Смирнов Г.И. // ЖЭТФ. 2004. Т. 126. N 10. С. 940--945
- Анциферов В.В., Кашников Б.П., Смирнов Г.И. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. N 3. С. 14--18
- Поляков О.В., Бадалян А.М. // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. В. 5. С. 60--62
- Поляков О.В., Бадалян А.М., Белый В.И. // Химия в интересах устойчивого развития. 2000. Т. 8. N 1--2. С. 217--221
- Kibar R., Cetin A., Can N. // Physica B: Condensed Matter. 2009. V. 404. N 1. P. 105--110
- Platzman I., Brener R., Haick H., Tannaenbaum R. // J. Phys. Chem. C. 2008. V. 112. P. 1101--1108
- Otamiri J.C., Andersson S.L.T., Andersson A. // Appl. Catal. 1990. V. 65. P. 159--174
- Bertrand G. // Comp. Rend. 1923. V. 177. P. 997--999
- Keller A. // Nature. 1951. V. 167. P. 907--908
- Keller A., Korosy F. // Nature. 1948. V. 162. P. 580--582
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.