"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Влияние ультразвуковой обработки на генерационные характеристики границы раздела полупроводник-стекло
Власов С.И.1, Овсянников А.В.1, Заверюхин Б.Н.1
1Национальный университет Узбекистана (НУУз), Ташкент, Узбекистан
Email: vlasov@uzsci.net
Поступила в редакцию: 8 ноября 2008 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2009 г.

Показана возможность определения временной зависимости скорости поверхностной генерации носителей заряда по кинетике релаксации емкости структур металл-стекло-полупроводник. Установлено, что ультразвуковая обработка границ раздела полупроводник-стекло приводит к изменению временной зависимости, уменьшая абсолютное значение скорости поверхностной генерации. PACS: 72.50.+b, 73.20.At, 73.40.Sx
  1. Литовченко В.Г., Горбань А.П. Основы физики микроэлектронных систем металл--диэлектрик--полупроводник. Киев: Наук. думка, 1978. Г. 1. С. 21--27
  2. Барабан А.П., Булавинов В.В., Коноров П.П. Электроника слоев SiO2 на кремнии. Л.: ЛГУ, 1988. Т. 1. С. 6--10
  3. Репинский С.М. // ФТП. 2001. Т. 5. В. 9. С. 1050--1061
  4. Буренков А.Ф., Комаров Ф.Н. // Микроэлектроника. 1988. Т. 17. В. 3. С. 256--260
  5. Гребен В.А. Полупроводниковые приборы для мощных высоковольтных преобразовательных устройств. М., Энергия, 1978. 192 с
  6. Александров О.В., Афонин Н.Н. // ФТП. 1998. Т. 32. В. 1. С. 56--61
  7. Александров О.В., Афонин Н.Н. // ФТП. 2005. Т. 39. В. 6. С. 67--71
  8. Власов С.И., Парчинский П.Б., Тургунов У.Т. // Неорганические материалы. 2002. Т. 38. N 6. С. 750--754
  9. Власов С.И., Адылов Т.П., Эргашева М.А. // Письма в ЖТФ. 2005. Т. 31. В. 10. С. 83--87
  10. Парчинский П.Б., Насиров А.А. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 18. С. 65--70
  11. Парчинский П.Б., Олматов Б.А. // Неорганические материалы. 2000. Т. 36. N 5. С. 608--610
  12. Kang J.S., Schroder D.K. // Phys. Stat. Sol. (a). 1985. V. 89. N 13. P. 13--43
  13. Zerbst M. // Z. Angew. Phys. 1962. N 30. P. 22--29
  14. Заверюхина Н.Н., Заверюхина Е.Б., Власов С.И., Заверюхин Б.Н. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 34. В. 6. С. 36--42

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.