Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние ультразвуковой обработки на генерационные характеристики границы раздела полупроводник-стекло
Власов С.И.1, Овсянников А.В.1, Заверюхин Б.Н.1
1Национальный университет Узбекистана (НУУз), Ташкент, Узбекистан 
Email: vlasov@uzsci.net
Поступила в редакцию: 8 ноября 2008 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2009 г.
Показана возможность определения временной зависимости скорости поверхностной генерации носителей заряда по кинетике релаксации емкости структур металл-стекло-полупроводник. Установлено, что ультразвуковая обработка границ раздела полупроводник-стекло приводит к изменению временной зависимости, уменьшая абсолютное значение скорости поверхностной генерации. PACS: 72.50.+b, 73.20.At, 73.40.Sx
- Литовченко В.Г., Горбань А.П. Основы физики микроэлектронных систем металл--диэлектрик--полупроводник. Киев: Наук. думка, 1978. Г. 1. С. 21--27
- Барабан А.П., Булавинов В.В., Коноров П.П. Электроника слоев SiO2 на кремнии. Л.: ЛГУ, 1988. Т. 1. С. 6--10
- Репинский С.М. // ФТП. 2001. Т. 5. В. 9. С. 1050--1061
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Н. // Микроэлектроника. 1988. Т. 17. В. 3. С. 256--260
- Гребен В.А. Полупроводниковые приборы для мощных высоковольтных преобразовательных устройств. М., Энергия, 1978. 192 с
- Александров О.В., Афонин Н.Н. // ФТП. 1998. Т. 32. В. 1. С. 56--61
- Александров О.В., Афонин Н.Н. // ФТП. 2005. Т. 39. В. 6. С. 67--71
- Власов С.И., Парчинский П.Б., Тургунов У.Т. // Неорганические материалы. 2002. Т. 38. N 6. С. 750--754
- Власов С.И., Адылов Т.П., Эргашева М.А. // Письма в ЖТФ. 2005. Т. 31. В. 10. С. 83--87
- Парчинский П.Б., Насиров А.А. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 18. С. 65--70
- Парчинский П.Б., Олматов Б.А. // Неорганические материалы. 2000. Т. 36. N 5. С. 608--610
- Kang J.S., Schroder D.K. // Phys. Stat. Sol. (a). 1985. V. 89. N 13. P. 13--43
- Zerbst M. // Z. Angew. Phys. 1962. N 30. P. 22--29
- Заверюхина Н.Н., Заверюхина Е.Б., Власов С.И., Заверюхин Б.Н. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 34. В. 6. С. 36--42
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
