Исследование модификации свойств анодных оксидных пленок переходных металлов при ионно-плазменном воздействии
Черемисин А.Б.1, Величко А.А.1, Пергамент А.Л.1, Путролайнен В.В.1, Стефанович Г.Б.1
1Петрозаводский государственный университет
Email: alexiii1982@mail.ru
Поступила в редакцию: 26 августа 2008 г.
Выставление онлайн: 20 января 2009 г.
Было исследовано взаимодействие плазмы высокочастотного емкостного разряда (13.56 MHz) в аргоне с тонкими пленками аморфных оксидов ванадия и ниобия, выращенных методом электрохимического оксисления в электролите. На основе рентгеноструктурного анализа, спектрофотометрических и электрофизических измерений показано, что в результате плазменной обработки происходит модификация электрических (рост электронной проводимости), структурных (кристаллизация) и оптических (изменение оптической плотности в коротковолновой области спектра) свойств оксидов. PACS: 52.40.Hf, 52.77.-j, 52.77.Dq, 72.80.Ga
- Materials Surface Processing by Directed Energy Techniques / Под ред. Pauleau Y., Elsevier Ltd., 2006. 722 p
- Stefanovich G.B., Pergament A.L., Velichko A.A., Stefanovich L.A. // J. Phys.: Condens. Matter. 2004. V. 16. P. 4013--4024
- Koshida N., Ohtaka K., Ando M., Komuro M., Atoda N. // J. Appl. Phys. 1989. V. 28. P. 2090--2094
- Калитеевская Н.А., Сейсян Р.П. // ФТП. 2001. Т. 35. С. 233--236
- Ho S.F., Contarini S., Rabalais J.W. // J. Phys. Chem. 1987. V. 91. P. 4779--4788
- Mezentzeff P., Lifshitz Y., Rabalais J.W. // Nuc. Instrum. Meth. in Phys. Research. 1990. V. B44. P. 296--301
- Стефанович Г.Б. // Переход металл--изолятор в пленочных структурах на основе оксидов переходных металлов. Дис. докт. физ.-мат. наук. СПб., 1997. 360 с
- Данилин Б.С., Киреев В.Ю. // Ионное травление микроструктур. М.: Сов. радио, 1979. 104 с
- Лагукова Н.И., Мокеров В.Г., Губанов В.А. // ФТТ. 1975. Т. 17. С. 3696
- Берсукер И.Б. // Эффект Яна--Теллера и вибронные взаимодействия в химии. М., 1987. 200 с
- Одынец Л.Л., Орлов В.П. Анодные окисные пленки. Л.: Наука, 1990. 200 с
- Райкерус П.А., Лалеко В.А. Физические основы пленочной электроники: Учебное пособие. Петрозаводск, 1987. 88 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
