Исследование естественного окисла на поверхности монокристаллического кремния (111) и (100) марки КЭФ (111) и марки КДБ методом спектроскопии отражения
Филатова Е.О.1, Соколов А.А.1, Тарачева Е.Ю.1, Багров И.В.1
1Санкт-Петербургский государственный университет
Email: feo@EF14131.spb.edu
Поступила в редакцию: 11 июля 2008 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2008 г.
Методом спектроскопии отражения рентгеновских лучей проведен анализ состояния поверхноcти стандартных пластин кремния (110) и (100) марки КЭФ и (100) марки КДБ, обработанных в полирующем растворе, состоящем из смеси двух кислот (50% HF и 70% HNO3) с объемными концентрациями 1 : 3 соответственно. Анализировалась тонкая структура спектров отражения образцов в области L2,3-порога ионизации кремния. Экспериментально установлена ориентационная зависимость толщины естественного окисного слоя на поверхности кремния. PACS: 61.05.cm
- Filatova E.O., Shulakov A.S. // Brilliant Light in Life and Material Sciences. Springer, 2007. P. 371--381
- Frederick C. Brown, Om P.Rustgi. // Phys. Rev. Lett. 1972. V. 28. N 8. P. 497--500
- Frederick C. Brown, Bachrach R.Z., Skibowski M. // Phys. Rev. B. 1977. V. 15. N 10. P. 4781--4788
- Филатова Е.О., Шулаков А.С., Лукьянов В.А. // ФТТ. 1998. Т. 40. В. 7. С. 1360--1363
- Engel T. // Surf. Sci. Rep. 1993. V. 18. P. 91--144
- Imata S., Ischizaka A. // J. Appl. Phys. 1996. N 9. V. 79
- Hollinger G., Himpsel F.J. // Phys. Rev. B. 1983. V. 28
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук