Разработка свободных оптических фильтров на область спектра 12-15 nm для источника излучения нанолитографа
Белик В.П.1, Задиранов Ю.М.1, Ильинская Н.Д.1, Корляков А.В.1, Лучинин В.В.1, Маркосов М.А.1, Сейсян Р.П.1, Шер Э.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет
Email: aisor@mail.ru
Поступила в редакцию: 14 декабря 2006 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2007 г.
Получены образцы оптических фильтров в виде свободных многослойных пленок на область спектра 12-15 nm для источника излучения нанолитографа. Разработана методика создания таких фильтров. PACS: 42.79.Ci, 78.20.-e, 81.15.-z
- Seisyan R.P. // Technical Physics. 2005. V. 50. N 5. P. 535--545
- Gontin R. // SEMATEX International EUV Source Workshop. March 03.2002. Santa Clara, CA, USA
- Henke B.L., Gullikson E.M., Davic J.C. // Atomic Data and Nuclear Data Tables. 1993. V. 54. N 2. P. 181--343
- Нанотехнологии: физика, процессы, диагностика, приборы / Под ред. Лучинина В.В., Таирова Ю.М. М.: Физматлит, 2006. 552 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук