"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование структур с нанокластерными слоями Al, внедренными в матрицу GaAs в процессе металлорганической газофазной эпитаксии
Востоков Н.В.1, Данильцев В.М.1, Дроздов Ю.Н.1, Пряхин Д.А.1, Шашкин В.И.1, Шулешова И.Ю.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: vostokov@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 5 октября 2006 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2007 г.

Исследованы закономерности формирования методом металлорганической газофазной эпитаксии полупроводниковых структур, представляющих собой матрицу монокристаллического GaAs с внедренными слоями нанокластеров Al. Предложен и реализован новый режим заращивания нанокластерных слоев Al арсенидом галлия, обеспечивающий планаризацию поверхности полупроводникового слоя при его толщине, сравнимой с высотой нанокластеров. PACS: 61.46.Hk
  1. Gregory I.S., Baker C., Tribe W.R., Evans M.J., Beere H.E., Linfield E.H., Davies A.G., Missous M. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 83. P. 4199
  2. Bjarnason J.E., Chan T.L.J., Lee A.W.M., Brown E.R., Driscoll D.C., Hanson M., Gossard A.C., Muller R.E. // Appl. Phys. Lett. 2004. V. 85. P. 3983
  3. Востоков Н.В., Данильцев В.М., Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Мурель А.В., Шашкин В.И. // Изв. АН. Сер. Физ. 2004. Т. 68. N 1. С. 55
  4. Востоков Н.В., Гусев С.А., Данильцев В.М., Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Корытин А.И., Мурель А.В., Шашкин В.И. // ФТП. 2005. Т. 39. В. 1. С. 92
  5. Shashkin V., Rushworth S., Daniltsev V., Murel A., Drozdov Yu., Gusev S., Khrykin O., Vostokov N. // Journal of Electronic Materials. 2001. V. 30. N 8. P. 980
  6. Данильцев В.М., Востоков Н.В., Гапонова Д.М., Дроздов М.Н., Дрозов Ю.Н., Мурель А.В., Пряхин Д.А., Хрыкин О.И., Шашкин В.И. // Материалы симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника". 25--29 марта, 2005 г. Нижний Новгород. С. 118
  7. Быков Ю.В., Еремеев А.Г., Жарова Н.А., Плотников И.В., Рыбаков К.И., Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Скупов В.Д. // Изв. вузов. Радиофизика. 2003. Т. XLVL. N 8--9. С. 836

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.