Влияние упругих взаимодействий на формирование кремниевых нанокристаллитов на некристаллических подложках в плазме СВЧ газового разряда низкого давления
Нефедов Д.В.1, Яфаров Р.К.1
1Институт радиотехники и электроники РАН, Саратовский филиал
Email: pirpc@renet.ru
Поступила в редакцию: 5 августа 2006 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2007 г.
Исследованы условия получения наноразмерных островков кремния в плазме СВЧ газового разряда низкого давления на некристаллических подложках с различной энергией взаимодействия на межфазной границе. Показано, что формирование островков происходит через заращивание углублений рельефа поверхности подложки. В оптимальных режимах синтеза размер островков определяется стехиометрическим составом и температурой получения пленки-подложки, на которой эти островки формируются. PACS: 81.07.Ta, 52.77.-j
- Леденцов Н.Н., Устинов В.М., Щукин В.А., Копьев П.С., Алферов Ж.И., Бимберг Д. // ФТП. 1998. Т. 32. В. 4. С. 385--410
- Williamson A.J. Energy states in quantum dots. International journal of high speed electronics and systems. 2002. V. 12. N 1. P. 15--34
- Былинкина Н.Н., Муштакова С.П., Олейник В.А. и др. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 6. С. 43--47
- Иевлев В.М., Трусов Л.И., Холмянский В.А. Структурные превращения в тонких пленках. М.: Металлургия, 1982. 247 с
- Гуляев Ю.В., Яфаров Р.К. // Зарубежная электронная техника. 1997. N 1. С. 77--120
- Woll A.R., Rugheimer P., Lagally M.G. Self-organized quantum dots. 2002. V. 12. N 1. P. 45--78
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук