Влияние потенциала смещения на структуру тонких пленок диборида тантала
Гончаров А.А.1, Коновалов В.А.1, Ступак В.А.1
1Донецкий национальный университет, Украина Донбасская государственная машиностроительная академия, Краматорск, Украина
Email: applmath@dgma.donetsk.ua
Поступила в редакцию: 29 сентября 2006 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2007 г.
Исследовано влияние потенциала смещения на структуру и состав пленок диборида тантала, полученных на стальных подложках методом ВЧ-магнетронного распыления. Установлено, что образуются нанокристаллические текстурированные и нетекстурированные покрытия с различным фазовым составом. PACS: 81.07.Bc
- Штанский Д.В., Кулинич С.А., Левашов Е.А., Moore J.J. // ФТТ. 2003. Т. 45. В. 6. С. 1122--1129
- Штанский Д.В., Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Шевейко А.Н., Башкова И.А., Малочкин О.В., Левашов Е.А., Косякин В.И., Дьяконова Н.Б., Лясоцкий И.В. // ФТТ. 2005. Т. 47. В. 2. С. 242--251
- Kunc F., Musil J., Mayrhosofer P.H., Mitterer С. // Surf. and Coat. Tech. 2003. V. 174--175. P. 744--753
- Андриевский Р.А., Калинников Г.В., Кобелев Н.П., Сойфер Я.М., Штанский Д.В. // ФТТ. 1997. Т. 39. В. 10. С. 1859--1864
- Григорьев О.Н., Пугачев А.Т., Соболь О.В., Стеценко А.Н., Подтележников А.А. // Тезисы межд. конф. "Совр. материалы: достижения и проблемы". Киев: ИПМ, 2005. С. 528
- Соболь О.В., Дуб С.Н., Григорьев О.Н., Стеценко А.Н., Подтележников А.А. // Сверхтвердые материалы. 2005. N 5. С. 38--47
- Andrievski R.A., Kalinnikov G.V., Jaubertean J., Bates J. // J. of Mater. Science. 2000. V. 35. P. 2799--2806
- Андриевский Р.А., Глезер А.М. // ФММ. 1999. Т. 88. В. 1. С. 50--73
- Гончаров А.А., Игнатенко П.И., Петухов В.В., Коновалов В.А., Волкова Г.К., Ступак В.А., Глазунова В.А. // ЖТФ. 2006. Т. 76. В. 10. С. 87--90
- Shun-Tang Lin, Chiapyng Lee // J. Electrochem. 2003. V. 150. N 10. P. 607--611
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук